[发明专利]一种薄壁射频超导腔的制造方法在审
| 申请号： | 202111537628.1 | 申请日： | 2021-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN114178794A | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 陈明伦;黄俊峰;牟民;张宁峰;何伟;王仲谋;游雨松;李众 | 申请（专利权）人： | 宁夏东方钽业股份有限公司;宁夏东方超导科技有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;H05H7/00 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 751600 宁夏*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 薄壁 射频 超导 制造 方法 | ||
1.一种薄壁射频超导腔的制造方法，其特征在于，包括：
下料直径275mm，厚度1mm的铌圆板，退火态，裸眼观察后选择无缺陷面向上，在所述铌圆板双面涂润滑油，放入冲压模具中，在所述冲压模具的底部安装下压板，在所述铌圆板的上面安装上压板，其中，冲压模具包括位于所述铌圆板上面的凸膜和位于所述铌圆板下面的凹膜；
采用50吨压力机下压到设定压力20吨后保压1分钟以使所述铌圆板外缘变形且外边缘无褶皱后退模；
更换凸膜后再次采用50吨压力机下压到设定压力20吨后保压1分钟以使所述铌圆板中间变形且中间无褶皱后退模；
将所述铌圆板翻转180度后，在所述铌圆板的底部开设直径为50mm的通孔，更换凸膜，采用80吨压力机下压到设定压力70吨后保压1分钟以使所述铌圆板的底部变形，达到翻孔目的，退模形成底部带孔的半碗零件；
将所述半碗零件放置到加工工装中利用工装装夹在数控车床卡盘上百分表找正，并确保径向跳动小于0.1mm，分别车削加工所述半碗零件的两端达到图纸尺寸要求；
按照图纸加工法兰，并在所述法兰上设置三道密封槽；采用厚度为1mm的铌板卷圆制作铌管；
采用真空电子束焊接方式将两个所述半碗零件的赤道对接焊接，并在两个所述半碗零件的底部通孔处均焊接所述铌管；
将所述法兰加热到80℃，将所述铌管冷却到零下70℃，保温30分钟后将所述法兰和所述铌管进行装配，装配完成后，在真空环境下加热到1060℃，并采用无氧铜丝熔化填充到所述法兰上三道密封槽和所述铌管之间的间隙中，完成所述铌管和所述法兰之间的焊接，冷却到室温后取出以形成初始薄壁射频超导腔；
将所述初始薄壁射频超导腔加工到图纸尺寸，并对所述初始薄壁射频超导腔做无油清洗以制成薄壁射频超导腔。
2.根据权利要求1所述的薄壁射频超导腔的制造方法，其特征在于，所述按照图纸加工法兰为采用厚度为18mm的不锈钢按照图纸加工所述法兰。
3.根据权利要求1所述的薄壁射频超导腔的制造方法，其特征在于，所述铌管和所述法兰之间的焊接方式为钎焊焊接。
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