[发明专利]一种傅里叶红外光谱仪及其应用在审
申请号: | 202111541777.5 | 申请日: | 2021-12-16 |
公开(公告)号: | CN114397261A | 公开(公告)日: | 2022-04-26 |
发明(设计)人: | 张天禹;张奕泽;王斌 | 申请(专利权)人: | 光子集成(温州)创新研究院 |
主分类号: | G01N21/35 | 分类号: | G01N21/35;G01N21/01;G01J3/28;G01J3/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 325011 浙江省温州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 傅里叶 红外 光谱仪 及其 应用 | ||
1.一种傅里叶红外光谱仪,其特征在于,包括频率梳生成模块、测量模块和干涉图样生成模块;
所述频率梳生成模块用于将光源发出的红外激光转化为频率梳,并输入至所述测量模块;
所述测量模块用于利用所述频率梳测量被测物质,并将所述被测物质吸收后的红外光谱传输至所述干涉图样生成模块;
所述干涉图样生成模块用于根据所述红外光谱生成干涉图样。
2.根据权利要求1所述的傅里叶红外光谱仪,其特征在于,所述傅里叶红外光谱仪还包括光电探测器;
所述光电探测器的输入端与所述干涉图样生成模块连接,用于探测所述干涉图样并将其输出。
3.根据权利要求2所述的傅里叶红外光谱仪,其特征在于,所述频率梳生成模块、所述测量模块、所述干涉图样生成模块和所述光电探测器均集成于同一块芯片上。
4.根据权利要求2或3所述的傅里叶红外光谱仪,其特征在于,所述频率梳生成模块包括光源和微环谐振器;
所述光源用于产生红外激光;
所述微环谐振器接收所述红外激光,并将所述红外激光转化为频率梳后输出至所述测量模块。
5.根据权利要求4所述的傅里叶红外光谱仪,其特征在于,所述微环谐振器包括环形波导和设置于所述环形波导两侧并与所述环形波导耦合的输入直波导和输出直波导;
所述输入直波导的输入端接收所述红外激光;
所述环形波导从所述输入直波导上耦合所述红外激光,并将其转化为频率梳从所述输出直波导的下载端输出至所述测量模块。
6.根据权利要求4所述的傅里叶红外光谱仪,其特征在于,所述测量模块包括第一衍射光栅和第二衍射光栅;
所述第一衍射光栅设置于所述微环谐振器的下载端,用于将所述微环谐振器下载端处的频率梳发射至所述被测物质;
所述第二衍射光栅设置于所述干涉图样生成模块的输入端,用于收集所述被测物质吸收后的红外光谱,并将所述红外光谱传输至所述干涉图样生成模块。
7.根据权利要求6所述的傅里叶红外光谱仪,其特征在于,所述测量模块还包括第一透镜和第二透镜;
所述第一透镜设置于所述第一衍射光栅的出光路径上,用于将所述第一衍射光栅出射的频率梳转化为平行出射的频率梳;
所述第二透镜设置于所述被测物质吸收后的红外光谱的传输路径上,用于将所述被测物质吸收后的红外光谱聚焦于所述第二衍射光栅上。
8.根据权利要求7所述的傅里叶红外光谱仪,其特征在于,所述干涉图样生成模块包括马赫曾德干涉仪;
所述马赫曾德干涉仪的输入端与所述第二衍射光栅连接,输出端与所述光电探测器连接。
9.一种如权利要求1-8任一项所述的傅里叶红外光谱仪在可穿戴设备中的应用。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于光子集成(温州)创新研究院,未经光子集成(温州)创新研究院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111541777.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:基于FBG曲率传感器的螺栓松动监测系统及其监测方法
- 下一篇:演出输出玩具