[发明专利]一种化学镀铜液及其制备方法

权利要求书

1.一种化学镀铜液，其特征在于，包括6-12g/L可溶性铜盐、15-40g/L络合剂、0.1-100mg/L稳定剂、1-10g/L还原剂、0.1-100mg/L表面活性剂、0.5-500mg/L加速剂、1-100mg/L胺基聚合物。

2.根据权利要求1所述化学镀铜液，其特征在于，所述络合剂和可溶性铜盐的摩尔比为(0.1-5)：1。

3.根据权利要求2所述化学镀铜液，其特征在于，所述络合剂和可溶性铜盐的摩尔比为(1.6-4)：1。

4.根据权利要求1-3任一项所述化学镀铜液，其特征在于，所述络合剂选自酒石酸盐、乙二胺四乙酸盐、四羟丙基乙二胺中一种或多种；所述乙二胺四乙酸盐为乙二胺四乙酸二钠和/或乙二胺四乙酸四钠。

5.根据权利要求4所述化学镀铜液，其特征在于，所述络合剂为乙二胺四乙酸盐和四羟丙基乙二胺，重量比为(1-3)：1，优选为2:1。

6.根据权利要求4所述化学镀铜液，其特征在于，所述络合剂为酒石酸盐和乙二胺四乙酸二钠，重量比(5-10)：1。

7.根据权利要求4所述化学镀铜液，其特征在于，所述络合剂为酒石酸盐和乙二胺四乙酸四钠，重量比(0.5-3)：1。

8.根据权利要求5-7任一项所述化学镀铜液，其特征在于，所述稳定剂选自六氰合铁酸钾、四氰合镍酸钾、2,2'-联吡啶、4,4'-联吡啶、1,10-邻菲咯啉、2-巯基苯并噻唑钠、硫代硫酸钠、苯并三唑中一种或多种。

9.根据权利要求8所述化学镀铜液，其特征在于，当稳定剂包括2,2'-联吡啶和六氰合铁酸钾时，所述稳定剂还包括2-巯基苯并噻唑钠，重量比为(1-1.5)：(5-10)：0.1。

10.一种根据权利要求1-9任一项所述化学镀铜液的制备方法，其特征在于，包括：将可溶性铜盐、络合剂、稳定剂、还原剂、表面活性剂、加速剂、胺基聚合物溶解在去离子水中，即得。