[发明专利]一种制备电子级高纯石英砂的方法

权利要求书

1.一种制备电子级高纯石英砂的方法，其特征在于包括如下步骤：

（1）将石英矿石用超高压水喷射清洗，主要剥离矿石表面异类矿物及含杂质的表皮，清洗后的石英矿石破碎成-30mm的石英块；

（2）-30mm的石英块通过精选，剔除杂质矿物和包裹体多的石英块，得到精选石英块；

（3）精选石英块输送至高压电脉冲破碎设备进行高压电脉冲预处理；

（4）经高压电脉冲预处理的石英块破碎成-40目石英砂，通过两道磁选，第一道磁场强度不高于0.6T，后道磁选背景磁场强度不低于1.5T，以除去加工过程引入的机械铁及石英块矿石中磁性矿物得到磁选精砂；

（5）磁选精砂经浮选，去除石英砂中的异类矿物，得到浮选精砂；

（6）浮选精砂通过微波干燥煅烧、急速冷却得到煅烧精砂；

（7）煅烧精砂通过酸洗、超声清洗、水力分级、离心脱水获得40-200目的酸洗精砂；

（8）将酸洗精砂脱水、干燥、放置于高温炉内真空脱气得到电子级高纯石英砂。

2.根据权利要求1所述的一种制备电子级高纯石英砂的方法，其特征在于：

步骤（1）超高压水射流清洗设备水压为10MPa～250MPa，石英矿为伟晶岩脉石英矿、变质热液型脉石英矿。

3.根据权利要求2所述的一种制备电子级高纯石英砂的方法，其特征在于：

所述的高压电脉冲上升沿时间为100ns～450ns，脉冲强度为50～300kV，脉冲频率为10～20Hz，每100kg~500kg石英矿脉冲放电破碎100~500次。

4.根据权利要求3所述的一种制备电子级高纯石英砂的方法，其特征在于：

所述的微波干燥煅烧温度为850℃~1200℃，煅烧后的冷却采用液N₂气冷，冷却至5℃以下。

5.根据权利要求4所述的一种制备电子级高纯石英砂的方法，其特征在于：

高温炉内真空脱气温度1250℃~1410℃，真空度-0.1MPa~-0.05MP，脱气时间2h-8h。