[发明专利]前体胶囊、容器和方法

权利要求书

1.一种保持用于气相沉积过程的前体的前体胶囊，其中，

前体胶囊包括：

配置成限定前体空间的外壳，并且其中，

外壳是蒸汽可渗透的，以允许蒸汽形式的前体在蒸发条件下离开前体胶囊。

2.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述外壳配置为将未蒸发的前体基本保持在所述前体空间中。

3.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述外壳包括用于蒸发的前体离开所述前体胶囊的开口。

4.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述前体胶囊配置为可装载在前体容器中以执行气相沉积过程。

5.根据权利要求3所述的前体胶囊，其中，所述开口的最大横截面为50μm至50mm。

6.根据权利要求3所述的前体胶囊，其中，所述外壳的至少50％的表面积是蒸汽可渗透的。

7.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述外壳包括金属。

8.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述外壳包括涂层。

9.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述前体空间的体积为约1cm³至约20cm³。

10.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述外壳包括朝向所述前体空间的内部延伸的突起。

11.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述外壳具有基本球形的形状。

12.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述外壳具有宽度和长度，并且所述外壳的宽度与长度之比为约1:1至约1:20。

13.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述外壳具有基本球圆柱形的形状。

14.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述外壳具有基本圆柱形的形状。

15.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述外壳具有长度和宽度，并且长度为约1cm至约20cm。

16.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述外壳配置和布置成保持固体前体。

17.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述外壳具有长度和宽度，并且宽度为约0.4cm至约10cm。

18.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述外壳构造和布置成可打开的，以允许将前体填充到所述前体胶囊中。

19.根据权利要求17所述的前体胶囊，其中，所述外壳由可相对于彼此移动以打开所述前体胶囊的部件构成。

20.一种前体容器，包含至少两个保持用于气相沉积过程的前体的前体胶囊，其中前体胶囊包括配置为限定前体空间的外壳，并且其中外壳是蒸汽可渗透的，以允许蒸汽形式的前体在蒸发条件下离开前体胶囊。

21.根据权利要求20所述的前体容器，其构造和布置成在30℃至500℃的蒸发温度下操作，并且选择前体胶囊外壳的材料以承受所述蒸发温度。

22.一种包括前体容器的气相沉积组件，该前体容器包含至少两个保持用于气相沉积过程的前体的前体胶囊，其中前体胶囊包括配置为限定前体空间的外壳，并且其中，

外壳是蒸汽可渗透的，以允许蒸汽形式的前体在蒸发条件下离开前体胶囊。

23.一种将固体前体装载到前体容器中的方法，该方法包括提供保持用于包含前体组合物的气相沉积过程的前体的前体胶囊，以及

将至少两个前体胶囊插入前体容器中；其中，

前体胶囊包括配置成限定前体空间的外壳，并且其中，

外壳是蒸汽可渗透的，以允许蒸汽形式的前体在蒸发条件下离开前体胶囊。