[发明专利]一种激光修复方法、装置和存储介质在审
申请号: | 202111550999.3 | 申请日: | 2021-12-17 |
公开(公告)号: | CN114264663A | 公开(公告)日: | 2022-04-01 |
发明(设计)人: | 郎经纬;黄阳 | 申请(专利权)人: | 苏州科韵激光科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88 |
代理公司: | 北京市万慧达律师事务所 11111 | 代理人: | 陈晓磊 |
地址: | 215100 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光 修复 方法 装置 存储 介质 | ||
本发明涉及一种激光修复方法、装置和存储介质,方法包括以下步骤:S1,将产品放置于激光修复装置的载台上;S2,通过成像系统对产品进行图像采集,同时采用频闪照明模式对产品进行频闪照明;其中,频闪照明模式中,产品相对于成像系统的移动距离与频闪照明的脉冲信号触发间隔相匹配;S3,对采集的产品图像进行缺陷分析并对产品进行缺陷修复处理。本发明的激光修复方法在进行图像采集的过程中,采用频闪照明模式对产品进行照明,提高了照明亮度和图像采集效率,还延长了光源的寿命;在进行修复效果确认的过程中,采用持续照明模式,使用低电流获得持续照明,方便了实时确认激光修复效果。
技术领域
本发明涉及激光修复技术领域,尤其是指一种激光修复方法、装置和存储介质。
背景技术
TFT(ThinFilm Transistor,薄膜晶体管)式显示屏是各类笔记本电脑和台式机上的主流显示设备。现有的TFT制程中经常会出现一些线路缺陷,如异物、短路、断路等缺陷,为了更全面的检测产品瑕疵,通常采用显微镜进行检测面的放大,从而对产品瑕疵进行有效的检出,便于及时有效的修复产品,提高产品良品率。
众所周知,这种检测系统的显微镜为光学显微镜,为了更好地相机成像效果,必须外加光源,在使用时通过调节光源亮度来达到最佳成像的目的。但是现有技术采用传统的持续照明方式,该方式采集的图像亮度比较暗,不利于图像分析对比,导致瑕疵识别困难,无法定位瑕疵的位置。
发明内容
为了解决上述技术问题,本发明提供了一种激光修复方法、装置和存储介质,可以提高照明亮度,可以提高图像采集效率,可以延长光源寿命。
为实现上述目的,本申请提出第一技术方案:
一种激光修复方法,包括以下步骤:
S1,将产品放置于激光修复装置的载台上;
S2,通过成像系统对产品进行图像采集,同时采用频闪照明模式对产品进行频闪照明;
其中,频闪照明模式中,产品相对于成像系统的移动速度与频闪照明的脉冲信号触发间隔相匹配;
S3,对采集的产品图像进行缺陷分析并对产品进行缺陷修复处理。
在本发明的一个实施例中,所述频闪照明模式的光照强度大于800万Lux。
在本发明的一个实施例中,所述通过成像系统对产品进行图像采集,具体包括:
成像系统按照预设采集路线对产品进行图像采集;
同时采用频闪照明模式对产品进行频闪照明。
在本发明的一个实施例中,所述对采集的产品图像进行缺陷分析,具体包括:
对采集的产品图像进行图像处理与分析;
获取缺陷在产品上的具体位置信息。
在本发明的一个实施例中,所述对产品进行缺陷修复处理,具体包括:
将缺陷在产品上的具体位置信息反馈给控制中心;
控制中心控制激光修复系统移动至缺陷位置;
激光修复系统对相应的缺陷进行修复处理。
在本发明的一个实施例中,所述对产品进行缺陷修复处理后,具体包括:
将频闪照明模式切换为持续照明模式,采用持续照明模式对产品进行持续照明;
成像系统对产品进行修复效果确认;
若修复效果达到标准,则结束修复,若修复效果未达到标准,则重新进行修复。
为实现上述目的,本申请还提出第二技术方案:
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