[发明专利]高真空状态下薄壳器件盖板组合式拾取机构

权利要求书

1.一种高真空状态下薄壳器件盖板组合式拾取机构，包括高真空腔体，在高真空腔体中的工作台上设置有托盘，在托盘中设置有薄壳器件盖板（210），其特征在于，在薄壳器件盖板（210）正上方的高真空腔体内，固定设置有直线电机密封室（201），直线电机密封室（201）是固定设置在直线电机密封室安装板（202）上的，在直线电机密封室（201）中设置有直线电机（203），直线电机（203）的输出轴（217）向下穿出到直线电机密封室安装板（202）的下方；在直线电机（203）的输出轴（217）的正下方，设置有电磁铁安装盒吊接板（207），在电磁铁安装盒吊接板（207）的顶端面中央处，固定设置有轴端套接筒（219），在轴端套接筒（219）的侧壁上，沿上下竖直方向，对应设置有一对长条通孔（220），在直线电机（203）的输出轴（217）的下端，设置有连接销孔，直线电机（203）的输出轴（217）的下端，活动穿接在轴端套接筒（219）中，在输出轴（217）的下端设置的连接销孔与一对长条通孔（220）之间，穿接有连接销（218）；在电磁铁安装盒吊接板（207）的下底面上，吊接有电磁铁安装盒（208），在电磁铁安装盒（208）下底面上，连接有拾取模具（209），在电磁铁安装盒（208）中设置有电磁铁（216）；在直线电机（203）的输出轴（217）和轴端套接筒（219）的外侧，套接有波纹管套（205），波纹管套（205），通过波纹管套上端法兰（204），固定连接在直线电机密封室安装板（202）的下底面上，波纹管套（205），通过波纹管套下端法兰（206），固定连接在电磁铁安装盒吊接板（207）的上顶面上。

2.根据权利要求1所述的一种高真空状态下薄壳器件盖板组合式拾取机构，其特征在于，在电磁铁安装盒吊接板（207）的上顶面上，分别设置有左导向杆安装座（221）和右导向杆安装座（222），在左导向杆安装座（221）的正上方的直线电机密封室安装板（202）的下底面上，固定设置有左导向套（211），在右导向杆安装座（222）的正上方的直线电机密封室安装板（202）的下底面上，固定设置有右导向套（214），在左导向套（211）中，活动设置有左方形导向杆（212），左方形导向杆（212）的下端固定连接在左导向杆安装座（221）中，在右导向套（214）中，活动设置有右方形导向杆（215），右方形导向杆（215）的下端固定设置在右导向杆安装座（222）中。

3.根据权利要求1或2所述的一种高真空状态下薄壳器件盖板组合式拾取机构，其特征在于，在直线电机密封室（201）中设置有空气，在直线电机密封室（201）的侧壁上设置有密闭航空插头（213）；在拾取模具（209）的上顶面上设置有电磁铁放置凹槽（223），在拾取模具（209）的下底面上设置有薄壳器件盖板吸入槽（224）。