[发明专利]一种基于全反射积分腔的片光能量均匀化光学整形系统

权利要求书

1.一种基于全反射积分腔的片光能量均匀化光学整形系统，其特征在于：包括沿高斯光束传播方向依次排布的耦接光学镜组、全反射积分腔以及准直压缩光学镜组，所述高斯光束的入瞳平移偏移量d=0.85mm，所述耦接光学镜组包括第一平凸柱面镜（1）和第二平凸柱面镜（2），所述全反射积分腔由两片均光板（3）组成，所述两片均光板（3）均镀有高反射膜，其中一片均光板（3）与高斯光束传播方向平行，另一片均光板（3）与高斯光束传播方向具有0.1°夹角，所述准直压缩光学镜组包括第一弯月柱面镜（4）、第二弯月柱面镜（5）、第一双凸柱面镜（6）和第三平凸柱面镜（7），所述第一平凸柱面镜（1）、所述第二平凸柱面镜（2）、所述第一弯月柱面镜（4）、所述第二弯月柱面镜（5）及所述第一双凸柱面镜（6）均竖向布置，所述第三平凸柱面镜（7）横向布置，耦接光学镜组及准直压缩光学镜组的尺寸按高度、半宽、厚度和两个面的曲率R₁、R₂依次描述为：

第一平凸柱面镜（1）：10.00mm、5.00mm、3.00mm、R₁=8.00mm、R₂=∞；

第二平凸柱面镜（2）：10.00mm、5.00mm、3.00mm、R1=8.00mm、R2=∞；

第一弯月柱面镜（4）：20.00mm、35.00mm、11.993mm、R1=-102.521mm、R2=-63.338mm；

第二弯月柱面镜（5）：20.00mm、37.00mm、11.999mm、R1=-271.195mm、R2=-100.910mm；

第一双凸柱面镜（6）：20.00mm、41.00mm、12.00mm、R1=1069.347mm、R2=-197.653mm；

第三平凸柱面镜（7）：40.00mm、20.00mm、3.00mm、R1=100.00mm、R2=∞；

所述全反射积分腔的尺寸为：两片均光板（3）长度350mm、宽度40mm，间隔0.4mm。

2.根据权利要求1所述的一种基于全反射积分腔的片光能量均匀化光学整形系统，其特征在于：所述耦接光学镜组及所述准直压缩光学镜组的材质均为C79-80紫外熔融石英并镀有增透膜，透过率为99.9%，所述全反射积分腔的材质为石英。

3.根据权利要求1所述的一种基于全反射积分腔的片光能量均匀化光学整形系统，其特征在于：所述耦接光学镜组、全反射积分腔及准直压缩光学镜组的间隔介质为空气。

4.根据权利要求1所述的一种基于全反射积分腔的片光能量均匀化光学整形系统，其特征在于：所述系统工作波长为283.553nm，焦深为±30mm。