[发明专利]一种可调光谐振器

说明书

本发明公开一种可调光谐振器包括：光谐振器结构和频率调节结构。所述光谐振器结构，包括：光输入结构、光谐振器、光输出结构。其中，光谐振器位于光输入结构和光输出结构中间位置。光输入结构和光谐振器之间、以及光输出结构和光谐振器之间相互靠近。所述频率调节结构，包括：衬底、锚区、下电极、可动上电极和吸合阻挡梁。其中，下电极和锚区都置于衬底上；可动上电极置于锚区上；光输入结构、光谐振器和光输出结构置于可动上电极上；吸合阻挡梁置于可动上电极下。本发明所提出的技术方案，与加热器调节相比，静电调节方式功耗非常低；静电调节方式，响应速度比热式调节更快；静电调节方式结构简单、可靠性更高。

技术领域

本发明属于谐振器领域，具体涉及一种可调光谐振器。

背景技术

光学集成平台中，硅光子学已成为最有前途的光学之一。这可能主要归因于硅光子器件可以采用集成度非常高的CMOS技术制造光子电路。在过去几年中，出现了许多集成有源器件（包括调制器），锗基光电探测器，甚至III-V集成光源和探测器。此外，无源硅波导结构：环形谐振器，也被广泛应用于波导和波长选择器件。

环形谐振器在光纤通信中起着重要的作用。因为硅工艺使环形谐振器前所未有的小尺寸。通用环形谐振器为光导纤维的一个环路，谐振器的波长正好是光路的长度的整数。因此，环形谐振器支持多重共振，并且这些共振之间的间隔，取决于谐振器长度。对于许多应用，环形谐振器最好具有相对较宽的可调光谱范围。

环形谐振器的谐振波长可以是以多种方式调节，热调谐是重要的一种。根据光谱响应公式，共振波长的漂移与温度相关。理想情况，每个器件都需要一个单独的热源进行调节。最常见的解决方案是在谐振器的顶部或侧部增加微型加热器结构进行频率调节。

发明内容

针对以上问题，本发明提出一种可调光谐振器，以静电调节方式实现调谐，提高器件的响应速度、可靠性，并降低功耗。

本发明提出的闭环气压传感器的技术方案如下：

一种可调光谐振器，所述可调光谐振器包括频率调节结构及设置于所述频率调节结构上的光谐振器结构；其中：

所述频率调节结构包括：

衬底；

第一锚区及第二锚区，相间隔设置在所述衬底上；

可动上电极，支撑在所述第一锚区及第二锚区上；

下电极，设置所述第一锚区及第二锚区之间的所述衬底上，与所述可动上电极相互重叠；

所述光谐振器结构包括：

光输入结构，设置于所述可动上电极表面；

光谐振器，临近所述光输入结构设置于所述可动上电极表面；

光输出结构，临近所述光谐振器设置于所述可动上电极表面。

可选地，所述光输入结构、光谐振器和光输出结构的光导纤维宽度相等。

可选地，所述光输入结构、光输出结构和光谐振器之间的耦合区的最小距离小于光纤维的宽度。

可选地，所述光谐振器为圆形或者椭圆形。

可选地，所述光谐振器与所述下电极相互重叠。

可选地，所述频率调节结构还包括吸合阻挡梁，所述吸合阻挡梁设置于所述可动上电极的下表面。

可选地，所述吸合阻挡梁设置在可动上电极可动区域的两侧。

可选地，所述吸合阻挡梁的高度至少是所述可动上电极和所述下电极之间间距的三分之二。

可选地，所述吸合阻挡梁向着各自靠近的锚区弯曲。