[发明专利]一种洁净室用新风过滤装置及其使用方法

说明书

本发明公开了一种洁净室用新风过滤装置，包括：初级净化机构，用于对空气进行初次过滤，所述初级净化机构的左侧连接有进风管；沉降箱，用于灰尘的沉降和收集，所述沉降箱设置在初级机构的下部；二次过滤机构，用于对空气进行二次过滤，所述二次过滤机构设置在沉降箱的右侧；温度调节机构，用于调节过滤后空间的温度，所述温度调节机构设置在二次过滤机构的上部；控制器，设置在温度调节机构的外侧，所述二次过滤机构和温度调节机构分别与控制器连接，所述控制器与外部洁净室控制中心连接。本发明可以根据需要对新风进行加热，并具有预加热未处理空气的功能，提高了装置的热效率。

技术领域

本发明涉及空气过滤技术领域，具体为一种洁净室用新风过滤装置。

背景技术

洁净室对空气清洁度、温度等要求很高，普遍应用在对洁净度要求较高的半导体加工、精密仪器加工等领域。传统的清洁室缺少必要的温度调节功能和空气预加热功能，需要单独的设备进行温度的调节，同时及时部分设备配备了温度调节的装置，单能耗普遍较高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种洁净室用新风过滤装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种洁净室用新风过滤装置，包括：

初级净化机构，用于对空气进行初次过滤，所述初级净化机构的左侧连接有进风管；

沉降箱，用于灰尘的沉降和收集，所述沉降箱设置在初级机构的下部；

二次过滤机构，用于对空气进行二次过滤，所述二次过滤机构设置在沉降箱的右侧；

温度调节机构，用于调节过滤后空间的温度，所述温度调节机构设置在二次过滤机构的上部；

控制器，设置在温度调节机构的外侧，所述二次过滤机构和温度调节机构分别与控制器连接，所述控制器与外部洁净室控制中心连接。

所述初级净化机构包括初级净化箱、中部隔板和设置在中部隔板下部的若干滤芯一，中部隔板的边缘与初级净化箱的内壁连接，所述滤芯一的上部连接有进风管一和出风管一，所述进风管一的上部贯穿出隔板，所述出风管一的下部贯穿出初级净化箱延伸入沉降箱内；

所述初级净化箱的一侧铰接有维修箱门一，所述进风管上连接有气体流量计，所述气体流量计与控制器连接。

所述沉降箱的下部连接有集尘盒，所集尘盒的上部设置有滤网。

所述二次过滤机构包括二次过滤箱、滤芯二、滤芯三、进气分流管、出气管和电磁三通阀，所述滤芯二和滤芯三设置在二次过滤箱内，所述滤芯二的两侧连接有进风管二和出风管二，所述滤芯三的两侧分别连接有进风管三和出风管三，所述进风管二和进风管三通过电磁三通阀进气分流管连接，所述进气分流管的左侧贯穿二次过滤箱并延伸至沉降箱内，所述进气分流管的左侧连接有导气阀，所述导气阀为电磁阀，所述出风管二和出风管三与出气管连接，所述出气管的上端向上贯穿出二次过滤箱延伸至温度调节机构内，所述导气阀和电磁三通阀分别与控制器连接；

所述二次过滤箱的一侧铰接有维修箱门二。

所述温度调节机构包括温度调节箱、气罐、设置在气罐两侧的加热棒、风扇、设置在气罐内部的温度传感器和气压传感器，所述气压传感器和温度传感器分别与气罐的上下两侧内壁连接，所述气罐的两侧表面设置有若干导热片，所述风扇设置在温度调节箱内部的左侧，所述风扇与控制器连接，所述温度调节箱上部连接有若干新风管，所述新风出口与气罐连通，所述新风管的上侧连接有电磁阀一，所述电磁阀一与控制器连接；

所述温度调节箱的一侧铰接有维修箱门三。

所述温度调节箱上部连通有流通管，所述流通管位于气罐的左侧，所述流通管上连接有电磁阀二，所述温度调节箱的上侧设置有加压管，所述加压管的两端分别与温度调节箱和初级净化箱流通，所述加压管上连接有单向阀，所述电磁阀二和单向阀分别与控制器连接。