[发明专利]一种全自动半导体加热设备有效
申请号: | 202111567990.3 | 申请日: | 2021-12-21 |
公开(公告)号: | CN114251933B | 公开(公告)日: | 2022-09-13 |
发明(设计)人: | 胡长文;陈金凌;柳天勇 | 申请(专利权)人: | 盐城矽润半导体有限公司 |
主分类号: | F26B9/10 | 分类号: | F26B9/10;F26B25/00;F26B3/00;B08B1/00;B08B1/04 |
代理公司: | 盐城博思维知识产权代理事务所(普通合伙) 32485 | 代理人: | 邢腾 |
地址: | 224500 江苏省盐城市滨海经济开*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 全自动 半导体 加热 设备 | ||
本发明公开了一种全自动半导体加热设备,本发明涉及半导体技术领域。通过驱动电机的启动带动内转轮转动,进而带动马耳他机芯轮进行转动,由于内转轮与马耳他机芯轮之间适配转动,同时内转轮的转动带动外长杆进行摆动,拉动转动连杆进行摆动,转动连杆与吸料支架之间转动连接,带动吸料支架进行直角转动运动,吸料支架上的吸盘面板将对准八角转动辊上的吸面面板进行吸取或者收放,八角转动辊在驱动电机的作用下间歇转动,间歇转动的八角转动辊上的吸面面板至最上面时,烘干口对其进行加热,在间歇转动转运下来,利用下料组件反向操作进行拿取,使得其上下料都为及其上下料,替代人工上下料,手工改自动,大大提高了工作效率。
技术领域
本发明涉及半导体技术领域,具体为一种全自动半导体加热设备。
背景技术
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等,硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。
传统的半导体在加工生产过程中需要对其进行加热操作,传统的加热设备存在一定的缺陷,其不能加热上料一般采用人工上料的方式进行上下料,增加了上料时间,延长生产时间,增加成本。
发明内容
本发明提供了一种全自动半导体加热设备,解决了上述背景技术中提出的问题。
为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:一种全自动半导体加热设备,包括下底板,所述下底板的上侧表面上设置有内传动机构,所述下底板的上表面上且位于内传动机构的两侧分别设置有第一输送带和第二输送带,所述下底板的上侧依靠支撑柱固定设置有加热机箱,所述加热机箱的底部开设有烘干口,所述内传动机构的底部设置有清洗机;所述内传动机构包括设置在下底板中部转运半导体的转动架组件,所述转动架组件的两侧分别设置有上料组件和下料组件,并且上料组件和下料组件依靠转动架组件中心对称设置,上料组件与下料组件内的驱动电机反向转动,实现不同的转运效果,第二输送带将下料组件转运后的半导体转运出去。
作为本发明进一步的方案:所述上料组件包括固定设置在下底板上的第一内支撑杆、第二内支撑杆和驱动电机,所述第一内支撑杆设置有两个,两个第一内支撑杆的上端上均转动设置有转动滑块,所述第一内支撑杆上依靠转动滑块转动且滑动设置有吸料支架,所述第二内支撑杆上转动设置有转动连杆,所述驱动电机的驱动端上转动设置有内转轮,所述内转轮的正上方转动设置有马耳他机芯轮,所述转动连杆的上端与吸料支架之间转动连接,所述转动连杆的下端与外长杆的一端转动连接,所述外长杆的另一端与内转轮之间转动连接,其整体是实现半导体上料动作;
通过驱动电机的启动带动内转轮转动,进而带动马耳他机芯轮进行转动,由于内转轮与马耳他机芯轮之间适配转动,确保一个面的竖直方向,同时内转轮的转动带动外长杆进行摆动,拉动转动连杆进行摆动,转动连杆与吸料支架之间转动连接,带动吸料支架进行直角转动运动,吸料支架上的吸盘面板将对准八角转动辊上的吸面面板进行吸取或者收放,将半导体从第一输送带上转运到吸面面板上,八角转动辊在驱动电机的作用下间歇转动,间歇转动的八角转动辊上的吸面面板至最上面时,烘干口对其进行加热,在间歇转动转运下来,利用下料组件反向操作进行拿取,使得其上下料都为及其上下料,替代人工上下料,手工改自动,大大提高了工作效率。
作为本发明进一步的方案:所述下料组件与上料组件的整体结构相同,保证装置整体的通用性。
作为本发明进一步的方案:所述转动架组件包括固定在下底板上的支撑架,所述支撑架在下底板上设置有两个,两个支撑架之间转动设置有八角转动辊,所述八角转动辊的八个表面上设有吸面面板,转动架组件作用中间转运载体,需要具备一定的耐高温的物理特性。
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