[发明专利]一种金刚石表面定向刻蚀方法

权利要求书

1.一种金刚石表面定向刻蚀方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤1).配制刻蚀粉，取金属粉以及MnO₂、SiC、TiC三种化合物粉末中的一种或多种进行混合得到刻蚀粉；

步骤2).在步骤1)得到的所述刻蚀粉与金刚石颗粒混合，所述刻蚀粉与金刚石颗粒的配比为(0.5～3)：1；

步骤3).把步骤2)得到的原料加入三维混料机中，得到混合均匀的混合料；

步骤4).将步骤3)得到的混合料加入铁质金属模具中，将混合料匀平然后压实成厚度≤1CM的预制料块；

步骤5).将步骤4)所得预制料块置于高温炉中进行反应，高温炉加热升温至设定温度600～850℃，保温0.5h～10h停止加热，然后自然冷却至室温；

步骤6).将步骤5)中高温反应后的预制料块经过提纯处理，得到表面刻蚀的金刚石颗粒。

2.根据权利要求1所述的一种金刚石表面定向刻蚀方法，其特征在于：所述步骤1)中金属粉含Fe、Ni、Co、Ti、Al五种金属中的一种或多种。

3.根据权利要求2所述的一种金刚石表面定向刻蚀方法，其特征在于：所述步骤1)中的金属为金属单质粉末或金属合金粉末。

4.根据权利要求3所述的一种金刚石表面定向刻蚀方法，其特征在于：所述步骤1)中，所述刻蚀粉其各组分重量百分比如下：Ni：4～28％，Co：10～27％，Ti：1～10％，Al：0.2～5％，SiC：0.5～5％；TiC：0.2～2％，余量为Fe或MnO₂。

5.根据权利要求3所述的一种金刚石表面定向刻蚀方法，其特征在于：所述步骤1)中，所述刻蚀粉其各组分重量百分比如下：Ni：4～20％，Co：10～16％，Ti：1～6％，Al：2～5％，MnO₂：1～6％，SiC：0.5～2％；TiC：0.2～1％，余量为Fe。

6.根据权利要求3中所述的一种金刚石表面定向刻蚀方法，其特征在于：所述步骤1)中，所述刻蚀粉其各组分重量百分比如下：Ni：5～16％，Co：3～5％，Ti：8～10％，Al：0.2-1％，Fe：10～25％，SiC：3～5％；TiC：0.5～2％，余量为MnO₂。

7.根据权利要求1-6任一项所述的一种金刚石表面定向刻蚀方法，其特征在于：所述配制刻蚀粉所用金属粉原料的目数均小于3000目，且配制刻蚀粉所用金属粉附氧量小于0.5％。

8.根据权利要求7所述的一种金刚石表面定向刻蚀方法，其特征在于：所述步骤2)中金刚石颗粒粒径范围为1～1000μm。

9.根据权利要求8所述的一种金刚石表面定向刻蚀方法，其特征在于：所述步骤5)中，高温炉升温至设定温度范围为600～800℃，保温0.5h～10h后，停止加热，然后自然冷却至室温。

10.根据权利要求9所述的一种金刚石表面定向刻蚀方法，其特征在于：所述步骤5)中高温炉加热时间为0.5h-2h。