[发明专利]一种APCVD背封炉氮气罩的固定装置在审
| 申请号： | 202111575518.4 | 申请日： | 2021-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN114233969A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 赵晶;邓建忠;孙超;姜振虎;满序都;冯瑞琪 | 申请（专利权）人： | 山东有研半导体材料有限公司;有研半导体硅材料股份公司 |
| 主分类号： | F16L41/08 | 分类号： | F16L41/08;C23C16/40;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青 |
| 地址： | 253012 山东省德州市经济技术开发区袁桥*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 apcvd 背封炉 氮气 固定 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于APCVD背封炉氮气罩的固定装置，其特征在于，该固定装置包括供氮气罩管路穿过的主体部分、用于将氮气罩管路与主体部分彼此紧固的固定螺母，所述主体部分具有圆柱体、设置在圆柱体上部的圆台部，以及设置在圆台部上部的紧固部；该紧固部外周设有螺纹，并在该紧固部的径向上设有凹槽，所述氮气罩管路穿过的位置与该凹槽在同一直线上；所述固定螺母具有与所述紧固部外周的螺纹匹配的内螺纹。
2.根据权利要求1所述的用于APCVD背封炉氮气罩的固定装置，其特征在于，所述紧固部中与圆台部连接的部位具有柱形段和从该柱形段向上径向尺寸逐渐缩小的锥形部分。
3.根据权利要求2所述的用于APCVD背封炉氮气罩的固定装置，其特征在于，所述螺纹设置在锥形部分的外周面上。
4.根据权利要求2所述的用于APCVD背封炉氮气罩的固定装置，其特征在于，所述紧固部与所述圆台部连接的部位为六方柱外形。
5.根据权利要求1所述的用于APCVD背封炉氮气罩的固定装置，其特征在于，所述固定装置整体为聚四氟乙烯材质。
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