[发明专利]一种CrAlSiN梯度复合涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 202111584719.0 | 申请日： | 2021-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN114231901A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 陈火根;张济沧 | 申请（专利权）人： | 昆山欧思克精密工具有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/16;C23C14/32 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 夏苏娟 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 cralsin 梯度 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
1.一种CrAlSiN梯度复合涂层，其特征在于，包括顺次设置的Cr打底层、CrN粘结层、CrAlN过渡层和CrAlSiN表层；
其中，所述Cr打底层、CrN粘结层、CrAlN过渡层和CrAlSiN表层的厚度分别为0.2-0.4μm、0.2-0.4μm、2.3-2.5μm和1.0-1.4μm；所述CrAlSiN梯度复合涂层的总厚度为4-4.4μm。
2.一种权利要求1所述CrAlSiN梯度复合涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)依次向基体表面沉积Cr打底层、CrN粘结层、CrAlN过渡层和CrAlSiN表层，得到梯度复合材料；
(2)将所述梯度复合材料在真空环境下冷却，抛光，得到CrAlSiN梯度复合涂层。
3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，Cr打底层沉积的条件为：Ar的流量为150-200sccm，Cr靶的通电电流为110-130A，偏压电压为-160～-140V，真空度为0.01-0.03mbar，沉积的时间为5-15min。
4.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，CrN粘结层沉积的条件为：Ar的流量为150-200sccm，N2的流量为150-200sccm，Cr靶的通电电流为110-130A，偏压电压为-160～-140V，真空度为0.01-0.03mbar，沉积的时间为5-15min。
5.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，CrAlN过渡层沉积的条件为：N2的流量为180-220sccm，Cr0.7Al0.3靶的通电电流为120-160A，Cr靶的通电电流为110-130A，偏压电压为-140～-100V，真空度为0.01-0.03mbar，沉积的时间为70-90min。
6.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，CrAlSiN表层沉积的条件为：N2的流量为180-220sccm，Cr0.7Al0.3靶的通电电流为120-160A，Cr0.8Si0.2靶的通电电流为120-160A，偏压电压为-100～-60V，真空度为0.04-0.06mbar，沉积的时间为30-50min。
7.根据权利要求2-6任一项所述的制备方法，其特征在于，所述沉积的温度为420-500℃。
8.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中，抛光的时间为15-25min，速度为1.5-2.5m/s。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山欧思克精密工具有限公司，未经昆山欧思克精密工具有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111584719.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
