[发明专利]原子层沉积反应气体的制备机构及其制备方法

权利要求书

1.一种原子层沉积反应气体的制备机构，其特征在于，包括：

反应源，所述反应源内可操作地储有原子层沉积反应液；

载气源，所述载气源通过载气管道与所述反应源连通，所述载气管道可操作地插入所述反应液内；

反应气体罐，所述反应气体罐与所述反应源连通，所述反应气体罐能够密封。

2.根据权利要求1所述的原子层沉积反应气体的制备机构，其特征在于，所述原子层沉积反应气体的制备机构还包括第一加热装置，所述第一加热装置可操作地加热所述反应源内的反应液。

3.根据权利要求2所述的原子层沉积反应气体的制备机构，其特征在于，所述第一加热装置为加热釜，所述反应源位于所述加热釜中。

4.根据权利要求1所述的原子层沉积反应气体的制备机构，其特征在于，所述载气管道上设置第一开关阀；

所述制备机构还包括真空泵，所述真空泵与所述载气管道连通。

5.根据权利要求4所述的原子层沉积反应气体的制备机构，其特征在于，所述真空泵与所述反应气体罐可操作地连通。

6.根据权利要求5所述的原子层沉积反应气体的制备机构，其特征在于，所述制备机构还包括与所述反应气体罐可操作地连通的吹扫气体源，所述吹扫气体源可操作地往所述反应气体罐内输入吹扫气体。

7.根据权利要求5或6所述的原子层沉积反应气体的制备机构，其特征在于，所述制备机构还包括第二加热装置，所述第二加热装置设置于所述反应气体罐外，可操作地加热所述反应气体罐。

8.一种原子层沉积反应气体的制备方法，其特征在于，包括：

将载气通入反应液内；

将从反应液内溢出的载气及其携带的反应气体输入反应气体罐内；

密封反应气体罐。

9.根据权利要求8所述的原子层沉积反应气体的制备方法，其特征在于，在所述载气通入反应液的步骤中加热所述反应液。

10.根据权利要求8所述的原子层沉积反应气体的制备方法，其特征在于，所述载气源通过载气管道与所述反应源连通，所述载气管道上设置第一开关阀和第二开关阀，所述第一开关阀靠近所述反应源设置，所述第二开关阀靠近所述载气源设置，所述制备方法还包括：在所述载气通入所述反应液内步骤之前；

采用真空泵抽取所述第一开关阀和所述第二开关阀之间的所述载气管道内的气体。