[发明专利]一种硅芯焊接装置及硅芯焊接方法有效
申请号: | 202111592085.3 | 申请日: | 2021-12-23 |
公开(公告)号: | CN114054928B | 公开(公告)日: | 2023-07-04 |
发明(设计)人: | 史正斌;王生红;鲍守珍;张婧;任长春;宗冰 | 申请(专利权)人: | 亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海亚洲硅业半导体有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
主分类号: | B23K20/10 | 分类号: | B23K20/10;B23K20/26;B23K101/40 |
代理公司: | 北京卓恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11394 | 代理人: | 孔鹏 |
地址: | 810007 青海*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 焊接 装置 方法 | ||
1.一种硅芯焊接装置,其特征在于,包括:
壳体,所述壳体包括安装通孔,所述安装通孔用于安装硅芯;
夹持结构,所述夹持结构与所述壳体连接,用于夹持所述硅芯;
超声波发生器,所述超声波发生器设置在所述壳体内,用于对所述硅芯进行焊接;以及
加热组件,所述加热组件用于对所述硅芯进行加热;
所述夹持结构包括两个夹持组件,所述夹持组件包括夹持头、丝杆及电机;
所述壳体内设置有滑槽,所述夹持头滑动设置在所述滑槽内,所述夹持头的转动自由度被所述滑槽的槽壁限制;所述丝杆与所述夹持头螺纹连接,所述电机与所述丝杆传动连接;
所述壳体包括第一部分和第二部分,所述安装通孔贯穿所述第一部分及所述第二部分;所述超声波发生器包括超声变幅杆,所述第一部分及所述第二部分通过所述超声变幅杆连接。
2.根据权利要求1所述的硅芯焊接装置,其特征在于:
包括两个所述超声波发生器,两个所述超声波发生器分别位于所述安装通孔的两侧。
3.根据权利要求2所述的硅芯焊接装置,其特征在于:
所述超声波发生器的超声变幅杆与所述安装通孔的轴线平行设置。
4.根据权利要求1所述硅芯焊接装置,其特征在于:
所述加热组件为感应线圈,所述感应线圈套设在所述硅芯上。
5.根据权利要求1所述的硅芯焊接装置,其特征在于:
所述加热组件为电弧加热或微波加热结构。
6.根据权利要求1所述的硅芯焊接装置,其特征在于:
所述夹持结构包括两个夹持头;所述夹持头采用耐磨合金支撑;或者,所述夹持头表面涂敷碳化硅或氧化铝涂层。
7.一种硅芯焊接方法,使用了权利要求1-6任一项所述的硅芯焊接装置,其特征在于,包括以下步骤:
将待焊接的两个硅芯分别插接在所述安装通孔中,并使得两个硅芯的端部抵接;固定其中一个硅芯,将另外一个硅芯利用夹持结构进行夹持;
启动加热装置,对所述两个硅芯的接触处加热至预设温度;
启动超声波发生器,对硅芯进行超声震动。
8.根据权利要求7所述的硅芯焊接方法,其特征在于,所述预设温度为200-600℃。
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