[发明专利]一种电子束光刻胶的制备方法

权利要求书

1.一种电子束光刻胶的制备方法，其特征在于，包括感光原料、树脂原料、引发剂和溶剂。

2.根据权利要求1所述的电子束光刻胶的制备方法，其特征在于，所述树脂原料为三羟甲基丙烷三丙烯酸酯。

3.根据权利要求1所述的电子束光刻胶的制备方法，其特征在于，所述引发剂为甲基、苯基、丙酮类引发剂。

4.权利要求1-3中任一项所述的电子束光刻胶的制备方法，其特征在于，其制备方法为：

(1)选用千级无尘黄光房，混合搅拌设备，氮气保护设备；

(2)千级无尘黄光房恒温恒湿，氮气保护设备为混合设备填充氮气，保持混合搅拌环境氮气充足；

(3)将感光原料、树脂原料、引发剂和溶剂等原料按照一定比例导入混合搅拌设备中，进行充分的搅拌混合，搅拌温度维持在三十至五十摄氏度，搅拌时间维持在一至二小时；

(4)搅拌完成后，将搅拌混合物导入反应釜中静置，静置时间维持在三至五小时，静置前在釜中填充氮气进行保护；

(5)静置完成后将混合原料导入过滤设备中，过滤前在过滤设备中充入氮气进行保护，过滤设备采用纳米纤维滤材；

(6)一次过滤后进行取样检测，检测是否达到质量要求，如未达到质量要求，则进行二次过滤，当达到之来弄要求后导入灌装设备中进行灌装，灌装时保持氮气填充保护。