[发明专利]一种化学真空泵

说明书

本发明涉及一种化学真空泵，可用于抽吸夹带有粉尘颗粒或可凝性物质的腐蚀性化学气体，并提供高真空或超高真空环境，包括驱动腔和设在驱动腔两侧的两个气缸，气缸的内壁设有防腐层；气缸的两端分别设有外缸盖和内缸盖；内缸盖与驱动腔左右两侧的侧板固定连接；气缸内设有与其内壁滑动密封的活塞；活塞通过一贯穿内缸盖的活塞杆与驱动组件固定连接；活塞杆与内缸盖之间滑动密封配合；活塞将相应气缸的内腔分隔为独立的外气室和内气室；外气室内设有旋风板一，其与外缸盖形成外旋风室；内气室内设有旋风板二，其与内缸盖形成内旋风室；外旋风室和内旋风室的侧壁上分别设置有与气缸的缸壁相切的进气阀和出气阀，进气阀和出气阀均为单向阀。

技术领域

本发明涉及一种真空泵，具体涉及一种可用于抽吸腐蚀性化学气体以提供真空环境的化学真空泵。

背景技术

真空是指在给定空间内，气体压强低于一个大气压的气体状态，完全没有任何气体的状态叫绝对真空，一般我们所说的真空是指相对真空，即能达到的最低压强下，每立方米气体中仍然有少数气体分子存在。20世纪初以后真空技术不断发展，真空设备种类越来越多，应用领域也逐渐扩大。

按照真空泵的工作原理，可以将其分为气体传输泵和气体捕集泵两种基本类型。气体传输泵主要通过不断的吸入和排除气体达到抽气目的，气体捕集泵通过使气体分子被吸附或者凝结在泵的内表面上，从而减小容器内的气体分子数目以达到抽气目的。在真空技术中，一般用“真空度”和“压强”来表示真空程度，某空间的压强越低则说明真空度越高，压强越高表示真空度越低。根据各压强范围内不同的物理特点，把真空一般划分为粗真空、低真空、高真空和超高真空几个区域。

目前常见的真空泵包括如下几类：

水环真空泵，其是一种变容积泵，可用于抽除易燃、易爆及腐蚀性气体，还可用于抽除含尘和水分的气体。具有结构简单、易维修、磨损小、安全性高、不会污染被输送气体等优点，缺点是效率不高，且获得真空度不高(粗真空)。

旋片真空泵，其是最基本的真空获得设备之一，它是一种油封式机械真空泵，适用于密闭系统的气体抽取，如真空包装、真空成形、真空吸引等，但不可用于抽除含氧量高、对金属有腐蚀性、可与泵油起化学反应、含有颗粒尘埃的气体，也不能抽除水或其他液体。

滑阀真空泵，属于一种油封式变容真空泵，可用于抽取一般性气体或者含有少量气凝性气体，相比旋片泵，可在高压强下工作(104Pa)、抽气量大、可以在较恶劣的工况下使用和经久耐用等优点，主要应用在真空冶炼、真空干燥、真空浸渍、真空蒸馏等方面。但滑阀泵的铸件重，加工工作量大，且存在振动、噪声大，易喷油和漏油等缺陷。

罗茨真空泵，具有启动快、功耗小、抽速大等优点，能够抽除含有水蒸气和灰尘的气体，能敏捷抽除忽然放出的气体，使用罗茨泵可以减少抽气时间，提升生产效率。目前国产罗茨泵与进口产品相比市场份额较小，为了达到抢占国内市场以及进入国际市场的目的，国产企业需在降低振动噪声、解决轴封漏油、提升泵内的光洁度和清洁度方面对国产产品进行改进。

干式螺旋真空泵，是一种相对较新的真空获得设备，具有可靠性高、使用寿命长、动力平衡性能好、适应强、能够多相混合输送等特点，可以抽除有腐蚀性的、有毒、含有粉尘的气体以及可凝性蒸汽等多种气体。干泵的应用范围非常广泛，代表行业包括半导体行业、化工行业、薄膜工业等，来自这三个行业的需求是干泵市场的主要驱动力。但干式螺旋真空泵价格昂贵，且目前主要以进口产品为主，一般企业难以承受其使用成本。

活塞式真空泵，作为一种容积式泵，依靠活塞与缸体之间的密封使气缸容积变化过程中达到优良的密封效果，保证了容积变化的可靠性，进而保证了真空度。又由于运行速度较慢，可以有效延长活塞密封以及与密封接触的防腐处理层的使用寿命，从而可以在需要处理腐蚀性气体的场合进行很好的工作。但由于活塞与缸内壁紧密贴合的结构特性，此类真空泵对应被抽吸气体的洁净程度和可凝性物质含量均有严格要求，否则进入缸体内的颗粒物极易对缸体内壁的防腐层产生磨损，从而导致防腐性能消失，甚至密封不严而导致报废。

发明内容