[发明专利]一种高气压SF6

权利要求书

1.一种高气压SF₆分解气体检测装置，其特征在于：所述的装置包括光声光谱模块(3)、光源及信号处理模块(4)、光纤穿墙法兰盘(5)、信号激发光纤(2)、第一信号探测光纤(6)；

所述光声光谱模块(3)由绝缘材料构成，且全部位于SF₆气体绝缘设备(1)的外壳内部，光源及信号处理模块(4)安装在SF₆气体绝缘设备(1)外壳外部，所述光纤穿墙法兰盘(5)位于SF₆气体绝缘设备(1)外壳壁面上；光声光谱模块(3)固定在SF₆气体绝缘设备(1)外壳上；所述光源及信号处理模块(4)经过信号激发光纤(2)、第一信号探测光纤(6)与光纤穿墙法兰盘(5)相连，所述光源及信号处理模块(4)通过光纤穿墙法兰盘(5)与光声光谱模块(3)相连，为光声光谱模块(3)提供激发光源，实现光声信号检测及向外传递。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述光声光谱模块(3)包括固定支座(3-1)、光分束器(3-2)、信号检测探头(3-3)、入射窗片(3-4)、入射窗片固定法兰(3-5)、气体样品池(3-6)、气体参比池(3-7)、光声腔(3-8)、气体孔(3-9)、压力平衡膜(3-10)、第一检测池(3-11)、第二检测池(3-12)、悬臂梁单元(3-13)、检测池窗片(3-14)、检测池窗片固定法兰(3-15)、出射窗片(3-16)和出射窗片固定法兰(3-17)；所述固定支座(3-1)位于光声腔(3-8)下部，用于将光声腔(3-8)固定在被测设备外壳内部；所述光纤分束器(3-2)用于将入射的光束等功率的分为2束，并分别入射至气体样品池(3-6)和气体参比池(3-7)；所述光声腔(3-8)为一长方体结构，对称的开有2组圆柱形空腔，第一组圆柱形空腔包括入射窗片安装孔(3-8-1)、气体样品池(3-6)、检测池窗片安装孔(3-8-5)、第一检测池(3-11)及出射窗片安装孔(3-8-2)；第二组圆柱形空腔包括入射窗片安装孔(3-8-1)、气体参比池(3-7)、检测池窗片安装孔(3-8-5)、第二检测池(3-12)及出射窗片安装孔(3-8-2)；光声腔(3-8)的侧壁开有2个气体孔(3-9)及信号探测探头安装孔(3-8-3)；所述信号检测探头(3-3)固定在光声腔(3-8)的信号探测探头安装孔(3-8-3)上，其中心线与悬臂梁单元(3-13)的悬臂梁片对应；压力平衡膜(3-10)安装在气体样品池(3-6)与气体参比池(3-7)之间的平衡孔(3-8-4)上；所述平衡孔(3-8-4)开在气体样品池(3-6)与气体参比池(3-7)的侧壁上，使得二者联通；所述压力平衡膜(3-10)可随气压变化变形，达到平衡气体样品池(3-6)与气体参比池(3-7)中气体压力的作用；悬臂梁单元(3-13)安装在第一检测池(3-11)与第二检测池(3-12)之间开有的悬臂梁安装孔(3-8-6)上；入射窗片(3-4)用入射窗片固定法兰(3-5)固定在光声腔(3-8)的入射窗片安装孔(3-8-1)上；检测池窗片(3-14)用检测池窗片固定法兰(3-15)固定在光声腔(3-8)的检测池窗片安装孔(3-8-5)上；出射窗片(3-16)用出射窗片固定法兰(3-17)固定在光声腔(3-8)的出射窗片安装孔(3-8-2)上；气体孔(3-9)开在光声腔(3-8)的侧壁上，使得气体样品池(3-6)与外部联通；所述气体参比池(3-7)中预充有SF₆气体，且气体压力与被测设备中SF₆气体压力相同；所述第一检测池(3-11)和第二检测池(3-2)通过悬臂梁单元(3-13)上的间隙(3-13-4)联通，且预充有以SF₆为平衡气，被测分解气体组分浓度为C_d的混合气体，气体压力为光声信号最大时的气压，优选地所述气压为1bar。