[发明专利]一种控制拉晶过程温度一致性的方法

权利要求书

1.一种控制拉晶过程温度一致性的方法，其特征在于：包括：

在稳温过程中，监测硅溶液液面温度，判断所述硅溶液液面温度是否满足第一预设条件；

若是，判断液面温度从初始温度至所测得的液面温度过程中的温度变化值是否满足第二预设条件；

若是，则根据所测得的液面温度调整热场温度，使得所述热场温度接近或等于所测得的液面温度；

计算热场系数；

根据所述热场系数调节稳温工序后的任一时间点的热场温度变化值。

2.根据权利要求1所述的控制拉晶过程温度一致性的方法，其特征在于：所述硅溶液液面温度满足第一预设条件为：所测得的硅溶液液面温度位于液面温度预设下限值与液面温度预设上限值之间。

3.根据权利要求2所述的控制拉晶过程温度一致性的方法，其特征在于：所述液面温度预设下限值为1440℃-1450℃，所述液面温度预设上限值为1455℃-1465℃。

4.根据权利要求1-3任一项所述的控制拉晶过程温度一致性的方法，其特征在于：若所述硅溶液液面温度不满足第一预设条件，则继续监测所述硅溶液液面温度，判断所述硅溶液液面温度是否满足第一预设条件。

5.根据权利要求4所述的控制拉晶过程温度一致性的方法，其特征在于：在根据所测得的液面温度调整热场温度时，以所测得的液面温度为目标温度，按照预设调整时间增加或减少热场温度，所述预设调整时间为10-20min。

6.根据权利要求5所述的控制拉晶过程温度一致性的方法，其特征在于：所述液面温度的温度变化值满足第二预设条件为：所述液面温度的温度变化值大于预设液面温度变化值。

7.根据权利要求6所述的控制拉晶过程温度一致性的方法，其特征在于：所述预设液面温度变化值不小于10℃。

8.根据权利要求6或7所述的控制拉晶过程温度一致性的方法，其特征在于：若所述液面温度的温度变化值不满足第二预设条件，则继续监测所述硅溶液液面的温度，判断所述硅溶液的液面温度是否满足第一预设条件。

9.根据权利要求1-3和5-7任一项所述的控制拉晶过程温度一致性的方法，其特征在于：所述热场系数为所述液面温度的温度变化值与所述热场温度变化值的比值。

10.根据权利要求9所述的控制拉晶过程温度一致性的方法，其特征在于：所述热场系数的计算公式为：热场系数＝[(初始液面温度-最终液面温度)/初始液面温度]/[(初始热场温度-最终热场温度)/初始热场温度]。

11.根据权利要求9所述的控制拉晶过程温度一致性的方法，其特征在于：所述根据热场系数调节稳温工序后的任一时间点的热场温度变化值的步骤中，所述任一时间点的热场温度变化值为该时间点的设定液面温度变化值与所述热场系数的乘积。

12.根据权利要求11所述的控制拉晶过程温度一致性的方法，其特征在于：所述设定液面温度变化值为5-15℃。