[发明专利]一种半导体级氨水的制备方法在审

专利信息
申请号: 202111607197.1 申请日: 2021-12-27
公开(公告)号: CN114272632A 公开(公告)日: 2022-04-05
发明(设计)人: 刘颂军;孙炜;吕国文;冯亚楠;杨杰;郭双环;金旭 申请(专利权)人: 信联电子材料(山东)有限公司
主分类号: B01D3/14 分类号: B01D3/14;C01C1/02
代理公司: 深圳市广诺专利代理事务所(普通合伙) 44611 代理人: 刘飞
地址: 253011 山东省德州市德城*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 氨水 制备 方法
【说明书】:

发明提供了一种半导体级氨水的制备方法,包括液氨、减压设备、精馏设备、热回收设备、二次精馏设备、冷凝设备和过滤设备。本发明中减压设备连接精馏设备,进行初步加热精馏,精馏后通过冷凝设备进行冷却,热回收设备回收加热精馏热能,进行一定加热回温;初步加热精馏氨水进入二次精馏设备中进行二次加热精馏,热回收设备回收热能进行一定加热回温后连接二次加热精馏设备中进行加热提供热能,二次精馏后通过冷凝设备再次冷凝,得到精馏氨水,能够有效回收利用热能,只需要少量加热,即可完成后续加热,更加节能。

技术领域

本发明属于氨水技术领域,尤其是涉及一种半导体级氨水的制备方法。

背景技术

氨水又称阿摩尼亚水,是氨的水溶液,无色透明且具有刺激性气味,工业氨水是含氨25%~28%的水溶液,氨水中仅有一小部分氨分子与水反应形成一水合氨,是仅存在于氨水中的弱碱。氨水中,氨气分子发生微弱水解生成氢氧根离子及铵根离子。“氢氧化铵”这个名称并不十分恰当,只是对氨水溶液中的离子的描述,并无法从溶液中分离出来。氨水是实验室中氨的常用来源。它可与含铜离子的溶液作用生成深蓝色的配合物,也可用于配置银氨溶液等分析化学试剂。

半导体级氨水,需要对氨水进行多重加工,但是现有的氨水加工工艺耗能高,不够环保。

发明内容

有鉴于此,本发明旨在提出一种半导体级氨水的制备方法。

为达到上述目的,本发明的技术方案是这样实现的:

一种半导体级氨水的制备方法,包括液氨、减压设备、精馏设备、热回收设备、二次精馏设备、冷凝设备和过滤设备。

进一步的,所述液氨采用工业级液氨。

进一步的,所述过滤设备内设有吸附和过滤两组工序。

所述的半导体级氨水的制备方法,包括如下步骤:

选取减压设备、精馏设备、热回收设备、二次精馏设备、冷凝设备和过滤设备,进行准备;

将液氨存储设备连接减压设备,打开液氨存储设备阀门,高压液氨进入减压设备中,进行减压;

减压设备连接精馏设备,进行初步加热精馏,精馏后通过冷凝设备进行冷却,热回收设备回收加热精馏热能,进行一定加热回温;

初步加热精馏氨水进入二次精馏设备中进行二次加热精馏,热回收设备回收热能进行一定加热回温后连接二次加热精馏设备中进行加热提供热能,二次精馏后通过冷凝设备再次冷凝,得到精馏氨水;

二次精馏氨水接入过滤设备,过滤设备包含吸附仓和过滤仓,先一步进行干燥吸附,去除氨水中杂质,接着通过膜过滤,进一步提高氨水的净度;

接着取样检测,检测氨水质量是否达标,如未达标,继续进行吸附过滤,如质量达标,则进行加压灌装,得到成品氨水。

相对于现有技术,本发明所述的修补剂具有以下优势:

1、本发明中减压设备连接精馏设备,进行初步加热精馏,精馏后通过冷凝设备进行冷却,热回收设备回收加热精馏热能,进行一定加热回温;初步加热精馏氨水进入二次精馏设备中进行二次加热精馏,热回收设备回收热能进行一定加热回温后连接二次加热精馏设备中进行加热提供热能,二次精馏后通过冷凝设备再次冷凝,得到精馏氨水,能够有效回收利用热能,只需要少量加热,即可完成后续加热,更加节能;

2、本发明中二次精馏氨水接入过滤设备,过滤设备包含吸附仓和过滤仓,先一步进行干燥吸附,去除氨水中杂质,接着通过膜过滤,进一步提高氨水的净度,接着取样检测,检测氨水质量是否达标,如未达标,继续进行吸附过滤,如质量达标,则进行加压灌装,得到成品氨水,能够更高提升氨水质量,同时保持过滤效果。

具体实施方式

下面来结合实例详细说明本发明。

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