[发明专利]一种用于微机电谐振式粘度传感器的测量系统及方法

权利要求书

1.一种用于微机电谐振式粘度传感器的测量系统，其特征在于，该系统包括微机械谐振粘度传感器敏感结构(100)、直流供电模块(200)、直流脉冲激励信号发生模块(300)和温度采集及数据处理模块(400)，其中：

所述直流供电模块(200)采用外部24V直流供电，用于为所述直流脉冲激励信号发生模块(300)和所述温度采集及数据处理模块(400)供电；

所述直流脉冲激励信号发生模块(300)，用于产生脉宽及幅值可调控的直流脉冲激励电压信号V_D，并输送至所述微机械谐振粘度传感器敏感结构(100)；

所述微机械谐振粘度传感器敏感结构(100)，用于在所述直流脉冲激励电压信号V_D的驱动下产生敏感电流传感信号，并输送至所述温度采集及数据处理模块(400)；

所述温度采集及数据处理模块(400)，用于对所述敏感电流传感信号进行数据预处理及解析，得到被测流体粘度密度参数，并输送至上位机。

2.根据权利要求1所述的用于微机电谐振式粘度传感器的测量系统，其特征在于，所述直流供电模块(200)包括电磁兼容处理单元(210)、数字电路直流供电单元(220)和脉冲激励直流供电单元(230)，其中：

所述电磁兼容处理单元(210)，其输入电压为24V直流电压，采用电磁兼容处理芯片，为所述数字电路直流供电单元(220)和所述脉冲激励直流供电单元(230)提供抗干扰能力强的24V直流电压；

所述数字电路直流供电单元(220)，采用DC/DC线性稳压转换芯片，为所述温度采集及数据处理模块(400)中的各组成模块提供直流工作电压；

所述脉冲激励直流供电单元(230)，采用DC/DC升压转换器，为所述直流脉冲激励信号发生模块(300)提供幅值在5～85V范围可变的直流输出电压V_ADJ。

3.根据权利要求2所述的用于微机电谐振式粘度传感器的测量系统，其特征在于，所述电磁兼容处理单元(210)采用的电磁兼容处理芯片至少包括压敏电阻、瞬变电压抑制二极管或电磁干扰EMI芯片。

4.根据权利要求2所述的用于微机电谐振式粘度传感器的测量系统，其特征在于，所述数字电路直流供电单元(220)为所述温度采集及数据处理模块(400)中的各组成模块提供直流工作电压至少包括3.3V、2.5V或1.8V的直流工作电压。

5.根据权利要求2所述的用于微机电谐振式粘度传感器的测量系统，其特征在于，所述直流脉冲激励信号发生模块(300)包括一场效应管，所述脉冲激励直流供电单元(230)提供的幅值在5～85V范围可变的直流输出电压V_ADJ加载于所述场效应管的源极S，场效应管的漏极D输出直流脉冲激励电压信号V_D。

6.根据权利要求5所述的用于微机电谐振式粘度传感器的测量系统，其特征在于，所述直流脉冲激励信号发生模块(300)还包括一三极管，所述三极管的集电极连接于所述场效应管的栅极G，所述三极管的发射极接地，所述三极管的基极接收所述温度采集及数据处理模块(400)产生的脉宽调制信号。