[发明专利]一种应用于探针台的自动喷液保护测试系统

说明书

本发明公开了一种应用于探针台的自动喷液保护测试系统，包括探针台，探针台中间为测试口、其测试口下端设置有用于吸附待测试器件的真空吸盘，测试口上端外围固定有若干测试探针模块；测试口上端外围还固定有喷液模块，喷液模块包括喷液器，喷液器设置在测试口上方对待测试器件喷射绝缘液体，喷液模块通过控制器控制其喷液时间、喷液间隔时间和喷液模式，控制器与计算机通信，计算机包括控制软件，控制软件通过计算机与控制器通信以控制喷液器。本发明通过软件和硬件配合，可实现喷液器的自动喷液，自动喷出绝缘液体到大功率器件Pad上，在扎针接触前后保护探针和待测器件，避免因高压击穿打火所造成的损伤。

技术领域

本发明涉及集成电路测试技术领域，具体涉及一种应用于探针台的自动喷液保护测试系统。

背景技术

随着高铁机车、新能源汽车等大功率器械的发展，大功率半导体器件需求也随之扩大，对于大功率器件良率要求也越来越高。所以，大功率测试的效率的提高变得尤为重要。大功率器件的测试需要施加高压、高流，常规大功率测试施加电压也能够达到3000V，此时的测试将会非常的危险，所以在测试的时候增加保护措施，例如在探针台外布置防护罩。然而高压高流环境中，探针和器件的接触前后会出现击穿打火情况，导致测试结果异常。

现有技术中，大功率测试保护装置是将待测器件放置在盛放绝缘液体的卡槽之中，从而避免高压击穿，保护探针和待测器件。这种保护方式存在极大的局限性：①器件放置在绝缘液体中会导致无法固定；②卡槽深度不能太深，太深会使得放取器件极为不方便；③卡槽内部边缘与器件之间必须有间隙且不能有效卡压器件，器件无法固定牢固；④器件本身存在翘曲，影响测试精度；⑤无法进行自动跑片测试，测试效率低。

发明内容

本发明解决的技术问题是提供一种可自动喷液，且可控制喷液时间、喷液间隔时间、喷液量和喷液模式的应用于探针台的自动喷液保护测试系统。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种应用于探针台的自动喷液保护测试系统，包括探针台，所述探针台中间为测试口、其测试口下端设置有用于吸附待测试器件的真空吸盘，所述测试口上端外围固定有若干测试探针模块；所述测试口上端外围还固定有喷液模块，所述喷液模块包括喷液器，所述喷液器设置在所述测试口上方对所述待测试器件喷射绝缘液体，所述喷液模块通过控制器控制其喷液时间、喷液间隔时间和喷液模式，所述控制器与计算机通信，所述计算机包括控制软件，所述控制软件通过所述计算机与所述控制器通信以控制所述喷液器。

进一步的，所述喷液模块包括磁性底座、XYZ三轴定位器和所述喷液器，所述XYZ三轴定位器通过所述磁性底座吸附固定在所述探针台上、其前端设置有固定支架，所述固定支架前端通过转接板固定有所述喷液器。

进一步的，所述XYZ三轴定位器为高精度定位器。

进一步的，所述转接板通过固定旋钮固定在所述固定支架前端；所述固定支架前端开有螺纹孔，所述转接板上设置有凸台、并开有轴孔，所述固定旋钮包括旋钮和螺丝杆，所述螺丝杆穿过所述轴孔与所述固定支架上的螺纹孔配合拧紧，通过所述旋钮将转接板凸台与所述固定支架压紧固定，当拧松所述固定旋钮后，所述转接板可绕通过所述固定旋钮绕所述固定支架前端转动。

优选的，所述喷液器上还设置有用于控制绝缘液体流量的流量调节旋钮。

进一步的，系统还包括储液罐、气源和测试仪表，所述储液罐用于存储所述绝缘液体，所述喷液模块的进液口与所述储液罐的出液口管路连通，所述喷液模块的进气口与所述控制器的出气口管路连通，所述控制器的进气口与所述气源的出气口管路连通，所述储液罐的进气口与所述气源的出气口管路连通；所述测试探针模块与测试仪表电性连接，所述测试仪表与所述计算机通信；所述气源为所述储液罐提供压力将所述绝缘液体压倒所述喷液器内，所述控制器通过控制所述喷液模块的气源以控制其喷液时间、喷液间隔时间和喷液模式。