[发明专利]光学元件表面缺陷的检测方法、装置及电子设备

说明书

本申请涉及一种光学元件表面缺陷的检测方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质，涉及光学检测技术领域。光学元件的待检测表面刻蚀有菲涅尔纹，该方法包括：获取待检测表面的灰度图像；获取灰度图像中分布菲涅尔纹的目标区域的极坐标图像；去除极坐标图像中与菲涅尔纹对应的菲涅尔纹图案；根据极坐标图像中剩余各图案的图案区域确定极坐标缺陷区域；在灰度图像中标注与极坐标缺陷区域对应的缺陷区域。

技术领域

本申请涉及光学检测技术领域，更具体地，涉及一种光学元件表面缺陷的检测方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质。

背景技术

在例如透镜等光学元件的生产过程中，光学元件表面不可避免会出现疵病(例如划痕、麻点等)或者被附着污染物。上述疵病和污染物等缺陷严重影响光学元件的质量，进而影响光学产品的生产和制造。基于上述情况，目前都会采用人工检测或计算机自动检测的方式对光学元件表面进行检测，以便找出光学元件表面的缺陷，从而有效评估光学元件的质量。

相较于人工检测，自动检测具有成本低、检测效率和准确性高等优势，本申请提供一种具有上述优势的自动检测方法，自动检测所适用的光学元件表面均为光滑的光学元件表面。

发明内容

本申请的一个目的是提供一种光学元件表面缺陷的检测的新技术方案。

根据本申请的第一方面，提供了一种光学元件表面缺陷的检测方法，光学元件的待检测表面刻蚀有用于实现光学功能的图纹，该方法包括：获取待检测表面的灰度图像；获取灰度图像中分布图纹的图纹区域的极坐标图像；去除极坐标图像中与图纹对应的图纹图案；根据极坐标图像中剩余各图案的图案区域确定极坐标缺陷区域；在灰度图像中标注与极坐标缺陷区域对应的缺陷区域。

可选地，根据极坐标图像中剩余各图案的图案区域确定极坐标缺陷区域，包括：对图案区域进行膨胀处理；根据膨胀处理的结果确定极坐标缺陷区域；其中，极坐标缺陷区域包括：膨胀处理后由多个第一图案区域连接成的封闭图案区域、以及膨胀处理后没有与其他图案区域发生连接的第二图案区域对应的原始图案的原始图案区域。

可选地，根据极坐标图像中剩余各图案的图案区域确定极坐标缺陷区域，包括：通过灰度共生矩阵计算图案区域中的纹理信息参数的参数值；其中，纹理信息参数包括以下至少一种：能量、相关性以及逆方差；根据参数值确定极坐标缺陷区域。

可选地，根据极坐标图像中剩余各图案的图案区域确定极坐标缺陷区域之后，光学元件表面缺陷的检测方法还包括：获取图案区域的像素点的第一总数量；在第一总数量小于预设的数量阈值的情况下，将极坐标缺陷区域修改为极坐标疑似缺陷区域；在灰度图像中标注与极坐标缺陷区域对应的缺陷区域，包括：以第一方式在灰度图像中标注与极坐标缺陷区域对应的缺陷区域，以第二方式在灰度图像中标注与极坐标疑似缺陷区域对应的疑似缺陷区域。

可选地，根据极坐标图像中剩余各图案的图案区域确定极坐标缺陷区域之后，光学元件表面缺陷的检测方法还包括：对极坐标缺陷区域进行区域生长，得到对应的生长区域；其中，生长区域中相邻两个像素点的灰度值的差值小于预设的差值阈值；获取生长区域中像素点的第二总数量；在第二总数量小于预设数量阈值的情况下，确定极坐标缺陷区域为灯影区域。

可选地，上述图纹为菲涅尔纹。

根据本申请的第二方面，还提供了一种光学元件表面缺陷的检测装置，光学元件的待检测表面刻蚀有用于实现光学功能的图纹，该装置包括：第一获取模块，用于获取待检测表面的灰度图像；第二获取模块，用于获取灰度图像中分布图纹的图纹区域的极坐标图像；去除模块，用于去除极坐标图像中与图纹对应的图纹图案；确定模块，用于根据极坐标图像中剩余各图案的图案区域确定极坐标缺陷区域；处理模块，用于在灰度图像中标注与极坐标缺陷区域对应的缺陷区域。