[发明专利]一种催化燃烧式氢气传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种催化燃烧式氢气传感器，其特征在于：包括催化燃烧元件和补偿元件，所述催化燃烧元件和补偿元件都是以云母片为衬底的平面薄膜结构，并且均在云母片衬底表面上依次附着铂电阻和氧化铝薄膜载体；其中，催化燃烧元件的氧化铝薄膜载体表面还附着一层钯纳米粒子作为催化剂。

2.如权利要求1所述的一种催化燃烧式氢气传感器，其特征在于：所述催化燃烧元件和补偿元件采用同一张云母片衬底，或者是各自独立的分别采用不同的云母片衬底。

3.如权利要求1所述的一种催化燃烧式氢气传感器，其特征在于：云母片衬底的厚度为10~100μm，铂电阻厚度为1~10μm，氧化铝薄膜载体的厚度在5~50μm范围内。

4.如权利要求1所述的一种催化燃烧式氢气传感器，其特征在于：钯纳米粒子的粒径尺寸5~20nm；在催化燃烧元件的结构中，钯纳米粒子附着并覆盖在整个氧化铝薄膜载体分布的区域表面。

5.如权利要求1所述的一种催化燃烧式氢气传感器的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

1）将掩模板贴于云母表面，利用磁控溅射镀膜法先在云母片表面镀金属钛或者铬作为黏附层，然后同样利用磁控溅射镀膜法进一步镀铂层得到铂电阻结构；

2）在铂电阻位置上镀氧化铝薄膜载体层，氧化铝薄膜载体层通过射频磁控溅射镀膜法镀膜形成，同样利用掩模板实现选区镀膜，镀膜区域覆盖整个铂电阻分布的表面；

3）催化燃烧元件和补偿元件均是按照上述步骤1）~2）的方法制备，催化燃烧元件制备时还继续采用团簇束流沉积技术在氧化铝薄膜载体层上制备钯纳米粒子催化剂，钯纳米粒子附着并覆盖在整个氧化铝薄膜分布的区域表面。