[发明专利]一种金刚石涂层双极电凝镊及其制备方法在审
| 申请号： | 202111624873.6 | 申请日： | 2021-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN114469320A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 戎非 | 申请（专利权）人： | 苏州卡彭新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | A61B18/12 | 分类号： | A61B18/12;A61B18/14;C23C16/02;C23C16/27 |
| 代理公司： | 北京中创博腾知识产权代理事务所(普通合伙) 11636 | 代理人： | 戴鹏 |
| 地址： | 215163 江苏省苏州市苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 涂层 双极电凝镊 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种金刚石涂层双极电凝镊，其特征在于，所述双极电凝镊包括电凝镊本体(1)、绝缘座(2)、沉积在电凝镊本体(1)表面的掺硼金刚石薄膜层以及绝缘层，所述掺硼金刚石薄膜层由热丝化学气相沉积法沉积得到。
2.根据权利要求1所述的一种金刚石涂层双极电凝镊的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1.材料表面处理:将经加工后的镊体先放置到(10％)盐酸/(35％)过氧化氢混合水溶液中，超声清洗5分钟，用颗粒度为5μm的金刚石粉研磨基体表面10min，用蒸馏冲洗后，放置到丙酮中超声清洗15分钟，烘干，置无尘器皿、装置等中备用；
S2.沉积掺硼金刚石薄膜层:使用高纯氢气为载气，硼酸三甲酯作为硼源，掺杂浓度为1000ppm，使用丙酮作为碳源，丙酮流量为80sccm，氢气流量为200sccm，反应压力为30Torr，开启气源和冷凝水，待沉积室达到后，开启热丝功率输出(热丝温度2200度，衬底温度800度)及偏流(4A)；经8小时沉积后，关闭热丝功率输出和偏压，冷却后，关闭气源，取出；
S3.涂覆绝缘层:在距离镊尖一定距离的镊体上涂覆绝缘漆进行绝缘处理或塑料绝缘层。
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