[发明专利]利用超临界二氧化碳聚合光刻胶树脂的方法在审
| 申请号： | 202111627112.6 | 申请日： | 2021-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN114316123A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 陈鹏;卢汉林;马潇;顾大公;毛智彪;许从应 | 申请（专利权）人： | 宁波南大光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C08F220/14 | 分类号： | C08F220/14;C08F220/18;C08F2/00;G03F7/004 |
| 代理公司： | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人： | 左光明 |
| 地址： | 315800 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 利用 临界 二氧化碳 聚合 光刻 树脂 方法 | ||
【权利要求书】：
1.利用超临界二氧化碳聚合光刻胶树脂的方法，其特征在于包括以下步骤：
步骤S01：准备好反应容器，将甲基丙烯酸单体以及引发剂投入至反应容器中；所述甲基丙烯酸单体为甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲基金刚烷酯和甲基丙烯酸丁内酯的混合；
步骤S02：通过真空泵将反应容器内空气排出，再补充CO2，反复三次，使釜内充分CO2气氛；
步骤S03：加热反应容器至60℃-100℃，并加入0-20MPa压力的CO2进行聚合反应。
步骤S04：反应结束，冷却反应容器，排出二氧化碳，将产物进行GPC测试。
2.如权利要求1所述的利用超临界二氧化碳聚合光刻胶树脂的方法，其特征在于，所述S01步骤中，反应容器为高压反应釜。
3.如权利要求1所述的利用超临界二氧化碳聚合光刻胶树脂的方法，其特征在于，按质量百分比计，所述引发剂占单体总质量的百分比为1-10wt％。
4.如权利要求1所述的利用超临界二氧化碳聚合光刻胶树脂的方法，其特征在于，所述引发剂为选自偶氮二异丁腈、偶氮二异戊腈和偶氮二异丁酸二甲酯的至少一种。
5.如权利要求4所述的利用超临界二氧化碳聚合光刻胶树脂的方法，其特征在于，所述引发剂为偶氮二异丁腈。
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