[发明专利]一种液氮排液装置、液氮排液方法及芯片测试系统

权利要求书

1.一种液氮排液装置，其特征在于，包括第一杜瓦、第二杜瓦、第一排液管、第一电磁阀、液位计和控制模块；

所述第一杜瓦，不封口，利用液氮提供低温环境，其内设置有用于承载待测芯片的承片台，与所述第二杜瓦通过所述第一排液管相连，且所述第一排液管的高度低于所述承片台的高度；

所述第一排液管，一端与所述第一杜瓦连接，另一端与所述第二杜瓦连接，所述第一排液管上设置有所述第一电磁阀；

所述第一电磁阀，与所述控制模块连接，其根据所述控制模块的控制信号打开或关闭，以开始或停止将所述第一杜瓦中的液氮排入所述第二杜瓦；

所述第二杜瓦，通过端盖封口，所述端盖上设置有液位计，所述液位计的输入端接近所述第二杜瓦的底部，所述液位计与所述控制模块连接；

所述控制模块，用于接收所述液位计的液位信号，以及基于所述液位信号控制所述第一电磁阀，以实现控制液氮的排液过程；

所述液氮排液装置还包括第二排液管、第四电磁阀和液氮桶；

所述液氮桶，通过所述第二排液管连接在靠近所述第二杜瓦底部的侧壁，以通过所述第二排液管接收来自所述第二杜瓦的液氮；

所述第二排液管上设置有所述第四电磁阀；

所述第四电磁阀，与所述控制模块连接，用于接收所述控制模块的控制信号，以执行或停止所述第二杜瓦向所述液氮桶的排液动作；

所述端盖上还设置有氮气管路；

所述液氮排液装置还包括：氮气源和第二电磁阀；

所述氮气管路的一端伸入第二杜瓦内，另一端连接有氮气源，氮气管路上还设置有所述第二电磁阀；

所述氮气源，用于为所述第二杜瓦提供正压；

所述第二电磁阀，与所述控制模块连接，其被配置为根据所述控制模块的控制信号打开或关闭，以开始或停止氮气源为第二杜瓦提供正压。

2.如权利要求1所述的液氮排液装置，其特征在于，所述端盖上还设置有温度传感器；

所述温度传感器，伸入所述第二杜瓦内，且所述温度传感器的探头高度不低于所述第一排液管的高度，所述温度传感器与所述控制模块连接；

所述控制模块，还被配置为在所述温度传感器采集的温度值低于预设温度阈值的情况下，控制关闭所述第一电磁阀。

3.如权利要求1所述的液氮排液装置，其特征在于，所述端盖上还设置有真空管路；

所述液氮排液装置还包括：真空泵和第三电磁阀；

所述真空管路的一端伸入第二杜瓦内，另一端连接有真空泵，所述真空管路上还设置有所述第三电磁阀；

所述真空泵，用于为所述第二杜瓦提供负压；

所述第三电磁阀，与所述控制模块连接，其根据所述控制模块的控制信号打开或关闭，以开始或停止真空泵为第二杜瓦提供负压。

4.如权利要求1所述的液氮排液装置，其特征在于，所述端盖上还设置有安全阀；

所述安全阀，用于在所述第二杜瓦内的气压高于预设气压限值的情况下自动开启，以释放所述第二杜瓦的压力。

5.如权利要求1所述的液氮排液装置，其特征在于，还包括压力传感器；所述压力传感器与控制模块连接，用于监控第二杜瓦内液氮上方的压力，在第二杜瓦内的液氮液位未达到阈值条件下，真空压力值达到阈值上限/下限时，控制模块打开/关闭第三电磁阀和真空泵；在第二杜瓦内的液氮液位达到阈值并向液氮桶排液时，氮气压力达到阈值上限/下限时，控制模块关闭/打开第二电磁阀。

6.如权利要求1所述的液氮排液装置，其特征在于，所述第一排液管和所述第二排液管均包括由内向外设置的内管、外管、第一保温层和第一保护层；

所述外管与所述内管固定连接，且所述外管上设置有第一抽气孔，所述第一抽气孔用于在所述外管与所述内管固定连接之后抽气，以在所述外管与所述内管之间形成第一真空层。