[发明专利]粉尘收集装置及抽真空系统在审
申请号: | 202111629450.3 | 申请日: | 2021-12-28 |
公开(公告)号: | CN114288793A | 公开(公告)日: | 2022-04-08 |
发明(设计)人: | 杨立华;缪敏敏;李炯 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | B01D50/20 | 分类号: | B01D50/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 周耀君 |
地址: | 201315*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 粉尘 收集 装置 真空 系统 | ||
1.一种粉尘收集装置,其特征在于,包括:
粉尘收集罐体,所述粉尘收集罐体的上端具有能够装配在抽真空系统的冗余管道上的开口,所述开口与所述冗余管道相连通,所述粉尘收集罐体的下端未封闭或者未完全封闭;
阻流板,为拱起结构,靠近所述开口设置在所述粉尘收集罐体的内部,所述阻流板的边缘与所述粉尘收集罐体的内壁之间留有间隙;
过滤器,位于所述阻流板的下方设置在所述粉尘收集罐体的内部,所述过滤器将所述粉尘收集罐体分隔为粉尘处理室和粉尘收集室,位于所述过滤器以上的部分为粉尘处理室,位于所述过滤器以下的部分为所述粉尘收集室;
舱盖,可拆卸连接在所述粉尘收集罐体的下端。
2.如权利要求1所述的粉尘收集装置,其特征在于,所述开口上设置有用于将所述粉尘收集罐体装配在抽真空系统的冗余管道上的锁紧装置。
3.如权利要求2所述的粉尘收集装置,其特征在于,所述锁紧装置为抱箍。
4.如权利要求1所述的粉尘收集装置,其特征在于,所述拱起结构的顶端位于所述开口的中心线上。
5.如权利要求1所述的粉尘收集装置,其特征在于,所述阻流板可拆卸设置在所述粉尘收集罐体的内部。
6.如权利要求1所述的粉尘收集装置,其特征在于,所述过滤器为海帕过滤器或者为网孔结构。
7.如权利要求1所述的粉尘收集装置,其特征在于,所述舱盖与所述粉尘收集罐体铰接或者卡扣连接。
8.一种抽真空系统,其特征在于,包括:
机台;
真空泵机;
抽气管道,包括与所述机台连通的主管道,所述主管道至少连通两路支管道,其中一路支管道为盲管,另一支管道为冗余管道,所述盲管与所述真空泵机连通,所述冗余管道为竖直设置,所述冗余管道上连通有如权利要求1-7中任一项所述的粉尘收集装置。
9.如权利要求8所述的抽真空系统,其特征在于,还包括:
冷凝器,与所述真空泵机连通;
废气排放装置,通过排废管道与所述冷凝器连通。
10.如权利要求8所述的抽真空系统,其特征在于,所述真空泵机为干式真空泵。
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