[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其特征在于，包括定位组件、加工组件和镜片组件；

所述定位组件包括相对且间隔设置的X射线发射器和检测器，所述镜片组件设置于所述X射线发射器和所述检测器之间，所述镜片组件和所述检测器之间用于设置工件；

所述X射线发射器发射沿第一方向传播的X射线，所述X射线经所述镜片组件透射在所述工件上，所述工件移动以使所述X射线照射在所述工件的不同位置，其中，所述检测器对所述工件进行检测并得到所述工件的不同位置的透过率电信号，所述透过率电信号用于判断所述工件的加工位置；

所述加工组件发射沿第二方向传播的激光，所述激光经所述镜片组件反射为沿所述第一方向传播，且所述镜片组件反射的所述激光与所述镜片组件透射的所述X射线的路径重合，所述激光用于在所述工件的加工位置加工所述工件。

2.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述镜片组件包括镜片和镜座，所述镜片安装在所述镜座上，所述镜座朝向所述X射线发射器的一端开设有通孔，所述X射线通过所述通孔射入所述镜座内并透过所述镜片。

3.如权利要求2所述的激光加工装置，其特征在于，所述镜座包括第一配合部和第二配合部，所述第一配合部和所述第二配合部连接，所述镜片设置在所述第一配合部上，所述通孔开设在所述第二配合部上，所述镜片与所述第一方向及所述第二方向均具有夹角。

4.如权利要求3所述的激光加工装置，其特征在于，所述镜座还包括第三配合部，所述第三配合部同时连接所述第一配合部和所述第二配合部，所述第三配合部用于遮挡所述X射线通过所述镜片反射的光线，以及遮挡所述激光通过所述镜片透射的光线。

5.如权利要求2所述的激光加工装置，其特征在于，所述镜片包括相背的第一表面和第二表面，所述X射线射入所述第一表面并从所述第二表面射出，所述激光从所述第二表面一侧射入所述镜片并从所述第二表面射出，所述第一表面和/或所述第二表面设置有光学膜片。

6.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述激光加工装置还包括支撑组件，所述支撑组件包括加工台，所述加工台位于所述镜片组件和所述检测器之间，所述加工台用于放置所述工件。

7.如权利要求6所述的激光加工装置，其特征在于，所述加工台连接控制器，且所述控制器控制所述加工台自动移动。

8.如权利要求6所述的激光加工装置，其特征在于，所述支撑组件还包括连接件和支撑件，所述连接件连接所述加工组件，所述支撑件连接所述连接件，所述镜片组件安装在所述支撑件上。

9.如权利要求6所述的激光加工装置，其特征在于，所述检测器连接在所述支撑组件上，且在所述支撑组件上沿所述第一方向移动。

10.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述加工组件包括激光发生器和振镜，所述激光发生器用于发射所述激光，所述激光经所述振镜调整后沿所述第二方向传播。