[发明专利]一种陶瓷电极塞式火工品桥区温度测量用薄膜传感器

权利要求书

1.一种陶瓷电极塞式火工品桥区温度测量用薄膜传感器，其特征在于，包括自下而上依次设置的陶瓷电极塞、绝热层、薄膜热电偶敏感层、绝缘层和火工品薄膜五层结构，以及薄膜热电偶正极引线、薄膜热电偶负极引线、火工品桥区正极引线、火工品桥区负极引线四个引线；

其中，所述陶瓷电极塞为圆盘形，陶瓷电极塞远离绝热层一侧的中心设置盲孔；

所述绝热层为圆盘形，完全覆盖陶瓷电极塞；

所述薄膜热电偶敏感层包括弓形的正极热电偶薄膜，弓形的负极热电偶薄膜，以及连接于正极热电偶薄膜和负极热电偶薄膜之间的热端结点；所述薄膜热电偶敏感层为轴对称图形；

所述绝缘层为圆盘形，完全覆盖薄膜热电偶敏感层；

所述火工品薄膜位于绝缘层之上，火工品薄膜的桥区、薄膜热电偶敏感层中的热端结点和陶瓷电极塞上的盲孔位于同一直线上；

所述薄膜热电偶正极引线穿过陶瓷电极塞、绝热层，与正极热电偶薄膜连接；

所述薄膜热电偶负极引线穿过陶瓷电极塞、绝热层，与负极热电偶薄膜连接；

所述火工品桥区正极引线穿过陶瓷电极塞、绝热层、绝缘层，与火工品薄膜的一极相连；所述火工品桥区负极引线穿过陶瓷电极塞、绝热层、绝缘层，与火工品薄膜的另一极相连。

2.根据权利要求1所述的陶瓷电极塞式火工品桥区温度测量用薄膜传感器，其特征在于，所述陶瓷电极塞为氧化铝陶瓷电极塞。

3.根据权利要求1所述的陶瓷电极塞式火工品桥区温度测量用薄膜传感器，其特征在于，所述陶瓷电极塞上未设置盲孔的区域的厚度为100～200μm。

4.根据权利要求1所述的陶瓷电极塞式火工品桥区温度测量用薄膜传感器，其特征在于，所述热端结点为正极热电偶薄膜和负极热电偶薄膜的层叠结构。

5.根据权利要求1所述的陶瓷电极塞式火工品桥区温度测量用薄膜传感器，其特征在于，所述绝缘层为氧化铝、氧化硅或氮化硅，厚度为500nm～1μm。

6.根据权利要求1所述的陶瓷电极塞式火工品桥区温度测量用薄膜传感器，其特征在于，所述薄膜热电偶正极引线的材料与正极热电偶薄膜材料相同，所述薄膜热电偶负极引线的材料与负极热电偶薄膜材料相同。

7.根据权利要求1所述的陶瓷电极塞式火工品桥区温度测量用薄膜传感器，其特征在于，所述火工品桥区正极引线和火工品桥区负极引线的材料为导电金属。