[发明专利]基于自由曲面的均匀照明系统及其设计方法在审

专利信息
申请号: 202111635999.3 申请日: 2021-12-29
公开(公告)号: CN114280801A 公开(公告)日: 2022-04-05
发明(设计)人: 夏智锋;张志清;古志良;许毅钦;邢景超;李鸿;陈博谦;陈志涛;赵维 申请(专利权)人: 广东省科学院半导体研究所
主分类号: G02B27/09 分类号: G02B27/09;G02B27/30;G02B27/00;G03F7/20
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 梁晓婷
地址: 510651 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 基于 自由 曲面 均匀 照明 系统 及其 设计 方法
【权利要求书】:

1.一种基于自由曲面的均匀照明系统,其特征在于,所述基于自由曲面的均匀照明系统包括:

准直模块(120),包括双自由曲面准直透镜阵列,所述准直模块(120)用于接收光源(110)光线,并形成准直光线;

光学积分器(130),用于接收所述准直光线,并形成多个细光束重新混合;

准直扩束系统(140),用于接收混合后的所述细光束,并形成均匀照明光斑。

2.根据权利要求1所述的基于自由曲面的均匀照明系统,其特征在于,所述光学积分器(130)包括多个微透镜阵列。

3.根据权利要求1所述的基于自由曲面的均匀照明系统,其特征在于,所述准直扩束系统(140)包括依次设置的负透镜组(141)、凸透镜(144)和出光光阑(145)。

4.一种基于自由曲面的均匀照明系统的设计方法,其特征在于,所述基于自由曲面的均匀照明系统的设计方法包括:

设计准直模块(120),所述准直模块(120)包括双自由曲面准直透镜阵列,所述准直模块(120)用于接收光源(110)光线,并形成准直光线;

设计光学积分器(130),所述光学积分器(130)用于接收所述准直光线,并形成多个细光束重新混合;

设计准直扩束系统(140),所述准直扩束系统(140)用于接收混合后的所述细光束,并形成均匀照明光斑。

5.根据权利要求4所述的基于自由曲面的均匀照明系统的设计方法,其特征在于,所述准直模块(120)的透镜结构采用双自由曲线绕中心轴旋转而成。

6.根据权利要求5所述的基于自由曲面的均匀照明系统的设计方法,其特征在于,所述设计准直模块(120)的步骤包括:

定义所述准直模块(120)的透镜材料折射率为n,空气折射率为n0=1;

选择的模拟光源(110)光强分布为朗伯分布:I=I0cosθ,θ为出光角度的限定值,且只对光源(110)角范围:0°~θ之内的光线进行准直控制。

7.根据权利要求5所述的基于自由曲面的均匀照明系统的设计方法,其特征在于,所述光学积分器(130)包括多个微透镜阵列。

8.根据权利要求5所述的基于自由曲面的均匀照明系统的设计方法,其特征在于,所述设计光学积分器(130)的焦距与透镜半径之间的关系是:

式中,fe为焦距,r为透镜半径,n为透镜折射率。

9.根据权利要求5所述的基于自由曲面的均匀照明系统的设计方法,其特征在于,所述准直扩束系统(140)包括依次设置的负透镜组(141)、凸透镜(144)和出光光阑(145)。

10.根据权利要求9所述的基于自由曲面的均匀照明系统的设计方法,其特征在于,所述准直扩束系统(140)满足以下关系:

式中,Yi为扩束前的光斑半高,Yo为扩束后的光斑半高,d1为凹透镜到虚像位置的距离,d2为凹透镜与凸透镜的距离,f1为凹透镜的焦距,f2为凸透镜的焦点,nb为扩束系统放大倍率。

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