[发明专利]基于自由曲面的均匀照明系统及其设计方法在审
申请号: | 202111635999.3 | 申请日: | 2021-12-29 |
公开(公告)号: | CN114280801A | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 夏智锋;张志清;古志良;许毅钦;邢景超;李鸿;陈博谦;陈志涛;赵维 | 申请(专利权)人: | 广东省科学院半导体研究所 |
主分类号: | G02B27/09 | 分类号: | G02B27/09;G02B27/30;G02B27/00;G03F7/20 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 梁晓婷 |
地址: | 510651 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 自由 曲面 均匀 照明 系统 及其 设计 方法 | ||
1.一种基于自由曲面的均匀照明系统,其特征在于,所述基于自由曲面的均匀照明系统包括:
准直模块(120),包括双自由曲面准直透镜阵列,所述准直模块(120)用于接收光源(110)光线,并形成准直光线;
光学积分器(130),用于接收所述准直光线,并形成多个细光束重新混合;
准直扩束系统(140),用于接收混合后的所述细光束,并形成均匀照明光斑。
2.根据权利要求1所述的基于自由曲面的均匀照明系统,其特征在于,所述光学积分器(130)包括多个微透镜阵列。
3.根据权利要求1所述的基于自由曲面的均匀照明系统,其特征在于,所述准直扩束系统(140)包括依次设置的负透镜组(141)、凸透镜(144)和出光光阑(145)。
4.一种基于自由曲面的均匀照明系统的设计方法,其特征在于,所述基于自由曲面的均匀照明系统的设计方法包括:
设计准直模块(120),所述准直模块(120)包括双自由曲面准直透镜阵列,所述准直模块(120)用于接收光源(110)光线,并形成准直光线;
设计光学积分器(130),所述光学积分器(130)用于接收所述准直光线,并形成多个细光束重新混合;
设计准直扩束系统(140),所述准直扩束系统(140)用于接收混合后的所述细光束,并形成均匀照明光斑。
5.根据权利要求4所述的基于自由曲面的均匀照明系统的设计方法,其特征在于,所述准直模块(120)的透镜结构采用双自由曲线绕中心轴旋转而成。
6.根据权利要求5所述的基于自由曲面的均匀照明系统的设计方法,其特征在于,所述设计准直模块(120)的步骤包括:
定义所述准直模块(120)的透镜材料折射率为n,空气折射率为n0=1;
选择的模拟光源(110)光强分布为朗伯分布:I=I0cosθ,θ为出光角度的限定值,且只对光源(110)角范围:0°~θ之内的光线进行准直控制。
7.根据权利要求5所述的基于自由曲面的均匀照明系统的设计方法,其特征在于,所述光学积分器(130)包括多个微透镜阵列。
8.根据权利要求5所述的基于自由曲面的均匀照明系统的设计方法,其特征在于,所述设计光学积分器(130)的焦距与透镜半径之间的关系是:
式中,fe为焦距,r为透镜半径,n为透镜折射率。
9.根据权利要求5所述的基于自由曲面的均匀照明系统的设计方法,其特征在于,所述准直扩束系统(140)包括依次设置的负透镜组(141)、凸透镜(144)和出光光阑(145)。
10.根据权利要求9所述的基于自由曲面的均匀照明系统的设计方法,其特征在于,所述准直扩束系统(140)满足以下关系:
式中,Yi为扩束前的光斑半高,Yo为扩束后的光斑半高,d1为凹透镜到虚像位置的距离,d2为凹透镜与凸透镜的距离,f1为凹透镜的焦距,f2为凸透镜的焦点,nb为扩束系统放大倍率。
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