[发明专利]一种带有双酯结构的高纯光酸抑制剂及其合成方法有效
| 申请号： | 202111636094.8 | 申请日： | 2021-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN114276263B | 公开（公告）日： | 2023-09-26 |
| 发明（设计）人： | 许东升;周浩杰;方涛;祝晓岚;施军民;顾大公;马潇;许从应;毛智彪 | 申请（专利权）人： | 宁波南大光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C07C229/12 | 分类号： | C07C229/12;C07C227/08;C07C69/54;C07C67/08;G03F7/004 |
| 代理公司： | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人： | 左光明 |
| 地址： | 315800 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 带有 结构 高纯 抑制剂 及其 合成 方法 | ||
1.一种带有双酯结构的光酸抑制剂，其特征在于，结构式如下：
其中R1、R2、R3选自碳原子数1～4的饱和烷基。
2.如权利要求1所述的带有双酯结构的光酸抑制剂的合成方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)在反应容器中加入乳酸酯、甲基丙烯酸、酸催化剂、溶剂和阻聚剂进行分水反应，得到中间体甲基丙烯酸乳酸酯；
(2)加入过量的仲胺，60-80℃加热反应5-10天；
(3)高真空条件下蒸馏。
3.如权利要求2所述的合成方法，其特征在于，所述乳酸酯为乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯中的一种或者多种。
4.如权利要求2所述的合成方法，其特征在于，所述酸催化剂为电子级浓硫酸、强酸性阳离子交换树脂、对甲苯磺酸中的一种。
5.如权利要求2所述的合成方法，其特征在于，所述溶剂为甲苯和/或正庚烷。
6.如权利要求2所述的合成方法，其特征在于，所述阻聚剂为酚噻嗪或对叔丁基苯酚。
7.如权利要求2所述的合成方法，其特征在于，所述仲胺为二乙胺、二丁胺、二叔丁胺中的一种。
8.如权利要求2所述的合成方法，其特征在于，所述乳酸酯、甲基丙烯酸、酸催化剂、仲胺的摩尔比为1:(1-1.3):(0.1-0.5):(1.2-3)。
9.如权利要求2所述的合成方法，其特征在于，步骤(1)所述分水反应的反应温度为100-120℃，反应时间为5-10h。
10.如权利要求1所述的带有双酯结构的光酸抑制剂的应用，其特征在于，用于光刻胶。
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