[发明专利]三维滑动弧等离子体发生器

权利要求书

1.一种三维滑动弧等离子体发生器，其特征在于，包括

壳体，所述壳体包括底壁和侧壁，所述侧壁具有第一端和第二端，所述第一端与所述第二端相反，所述侧壁的第一端固定于所述底壁并形成密封，所述侧壁的第二端向背离所述底壁的方向延伸以形成中部的反应腔室和末端的开口，所述侧壁第一端的两相对侧分别开设有进气口；

阳极电极杆，所述阳极电极杆一端贯穿所述壳体底壁并延伸于所述壳体底壁外部，所述阳极电极杆另一端竖直设置于所述反应腔室内且所述阳极电极杆的轴线位于所述反应腔室中心；

反应器阴极，所述反应器阴极装设于所述侧壁第二端，所述反应器阴极路径呈圆锥螺旋线，所述反应器阴极轴心与所述阳极电极杆同轴，所述阳极电极杆背离电极安装隔离座的一端贯穿所述反应器阴极小端，所述反应器阴极大端背离所述阳极电极杆方向延伸；

反应器阴极固定于反应器阴极外壳内侧。

2.根据权利要求1所述的三维滑动弧等离子体发生器，其特征在于，所述阳极电极杆上端通过电极安装隔离座可拆卸地装设于所述底壁。

3.根据权利要求2所述的三维滑动弧等离子体发生器，其特征在于，所述底壁中心设置有安装孔，所述电极安装隔离座贯穿所述安装孔，且所述电极安装隔离座背离所述反应腔室的一端延伸于所述底壁外部。

4.根据权利要求1所述的三维滑动弧等离子体发生器，其特征在于，所述反应器阴极通过反应器阴极外壳装设于所述侧壁的第二端，所述反应器阴极外壳侧壁设置有反应器阴极通道，所述反应器阴极通道一端与所述反应器阴极连接，另一端与外部连通。

5.根据权利要求1所述的三维滑动弧等离子体发生器，其特征在于，所述进气口相对于所述壳体倾斜设置。

6.一种三维滑动弧等离子体发生器，其特征在于，壳体，所述壳体包括底壁和侧壁，所述侧壁具有第一端和第二端，所述第一端与所述第二端相反，所述侧壁的第一端固定于所述底壁并形成密封，所述侧壁的第二端向背离所述底壁的方向延伸以形成中部的反应腔室和末端的开口，所述底壁设置有两个进气口，所述两个进气口相对于所述反应腔室中心间隔对称设置，所述进气口用于外部与所述反应腔室连通；

阳极电极杆，所述阳极电极杆一端贯穿所述壳体底壁并延伸于所述壳体底壁外部，所述阳极电极杆另一端竖直设置于所述反应腔室内且所述阳极电极杆的轴线位于所述反应腔室中心；

反应器阴极，所述反应器阴极装设于所述侧壁第二端，所述反应器阴极路径呈圆锥螺旋线，所述反应器阴极轴心与所述阳极电极杆同轴，所述阳极电极杆背离电极安装隔离座的一端贯穿所述反应器阴极小端，所述反应器阴极大端背离所述阳极电极杆方向延伸；

反应器阴极固定于反应器阴极外壳内侧。

7.根据权利要求6所述的三维滑动弧等离子体发生器，其特征在于，所述阳极电极杆上端通过电极安装隔离座可拆卸地装设于所述底壁。

8.根据权利要求7所述的三维滑动弧等离子体发生器，其特征在于，所述底壁中心设置有安装孔，所述电极安装隔离座贯穿所述安装孔，且所述电极安装隔离座背离所述反应腔室的一端延伸于所述底壁外部。

9.根据权利要求6所述的三维滑动弧等离子体发生器，其特征在于，所述反应器阴极通过反应器阴极外壳装设于所述侧壁的第二端，所述反应器阴极外壳侧壁设置有反应器阴极通道，所述反应器阴极通道一端与所述反应器阴极连接，另一端与外部连通。

10.根据权利要求6所述的三维滑动弧等离子体发生器，其特征在于，所述阳极电极杆与所述反应器阴极小端的间距为d₁，d₁∈[1，5]mm。