[发明专利]伸缩式石英加料装置、直拉单晶炉及提高拉速的方法

权利要求书

1.一种伸缩式石英加料装置，其特征在于：包括加料器、高度调节机构，所述加料器包括加料筒、连接法兰，所述连接法兰固设于加料筒的上端，高度调节机构包括固定法兰、调节杆、高度调节环、圆形挡块，所述固定法兰套装在加料器的外壁上，所述调节杆的下端与固定法兰连接，在连接法兰上设有调节孔，所述调节杆的上端穿过调节孔，所述调节杆的上端固设圆形挡块，圆形挡块的直径大于调节孔的直径，所述调节杆为数个，数个调节杆沿固定法兰的周向均布，在每一个调节杆上套装数个高度调节环，高度调节环的截面为“C”形，高度调节环的内径等于调节杆的直径，高度调节环一侧开口的宽度等于调节杆的直径，加料筒包括上筒、下筒，上筒嵌套在下筒内，上筒的外径等于下筒的内径，上筒和下筒滑动连接，连接法兰固设于上筒的上端，固定法兰套装在下筒的外壁，固定法兰与下筒固定连接。

2.一种直拉单晶炉，其特征在于：包括副炉体、提升机构以及权利要求1所述的伸缩式石英加料装置，所述伸缩式石英加料装置还包括加料吊杆、锥形底盖，所述提升机构设于副炉体的顶部，所述加料吊杆的上端与提升机构连接，所述加料吊杆的下端穿过加料筒，并与锥形底盖连接，所述锥形底盖盖合在加料筒的底端，所述固定法兰的外壁与副炉体的内壁连接。

3.如权利要求2所述的直拉单晶炉，其特征在于：所述直拉单晶炉还包括主炉体、导流筒、水冷屏，所述导流筒、水冷屏设于主炉体内，所述导流筒位于所述水冷屏的下方，所述水冷屏的内侧壁设置有凹坑，以提高提拉速度。

4.如权利要求3所述的直拉单晶炉，其特征在于：所述凹坑均匀分布在所述水冷屏的内侧壁上，所述凹坑为圆形，所述水冷屏为上部开口小下部开口大的筒体。

5.如权利要求4所述的直拉单晶炉，其特征在于：所述凹坑为椭圆形。

6.如权利要求3所述的直拉单晶炉，其特征在于：所述直拉单晶炉还包括圆环形护套，所述圆环形护套设于水冷屏的下端，所述圆环形护套由石墨做成。

7.如权利要求3所述的直拉单晶炉，其特征在于：所述水冷屏为不锈钢材质。

8.如权利要求3所述的直拉单晶炉，其特征在于：所述水冷屏表面涂覆有涂层。

9.如权利要求3所述的直拉单晶炉，其特征在于：所述直拉单晶炉包括支撑轴、托盘、石墨坩埚、石英坩埚、底加热器、侧加热器，主炉体的底部设有支撑轴，支撑轴上托举托盘，在托盘上放置有石墨坩埚，在石墨坩埚内嵌套有石英坩埚，在石英坩埚与主炉体的侧壁之间安装有侧加热器，在石英坩埚与主炉体的底壁之间安装有底加热器。

10.一种提高拉速的方法，利用如权利要求6所述的直拉单晶炉来实现，其特征在于：该方法采用直拉法生长单晶，拉晶过程中，保持提拉速度为1.8～2mm/min。