[发明专利]阻抗匹配网络调节方法

权利要求书

1.一种阻抗匹配网络调节方法，其特征在于，应用于射频电源系统，所述射频电源系统包括射频电源、阻抗匹配网络、阻抗调节网络和负载阻抗，所述阻抗匹配网络分别与所述射频电源、所述阻抗调节网络、所述负载阻抗电性连接，所述阻抗调节网络还与所述负载阻抗电性连接，所述方法包括：

所述阻抗调节网络根据阻抗匹配网络与负载阻抗之间的入射信号和反射信号，生成至少一个控制电压，并将所述控制电压发送至所述阻抗匹配网络，其中，所述入射信号为所述阻抗匹配网络传递至所述负载阻抗的信号，所述反射信号为所述负载阻抗返回至所述阻抗匹配网络的信号；

所述阻抗匹配网络根据所述控制电压调节阻抗，得到调节后的匹配阻抗；其中，所述匹配阻抗与所述负载阻抗之和等于所述射频电源的电源阻抗。

2.根据权利要求1所述的阻抗匹配网络调节方法，其特征在于，所述阻抗调节网络包括定向耦合器、幅相测量芯片和控制模块，所述幅相测量芯片分别与所述定向耦合器、所述控制模块电性连接，所述控制模块与所述阻抗匹配网络电性连接。

3.根据权利要求2所述的阻抗匹配网络调节方法，其特征在于，所述阻抗调节网络根据阻抗匹配网络与负载阻抗之间的入射信号和反射信号，生成至少一个控制电压，并将所述控制电压发送至所述阻抗匹配网络，包括：

所述定向耦合器采集所述阻抗匹配网络与负载阻抗之间的入射信号和反射信号；

所述幅相测量芯片对所述入射信号和反射信号进行比对，得到比对结果，并在所述比对结果指示所述入射信号和所述反射信号之间存在差异时，根据所述入射信号和所述反射信号生成差异电压，其中，所述差异电压包括幅值差异电压和相角差异电压；

所述控制模块根据所述幅值差异电压和所述相角差异电压生成至少一个控制电压，并将所述控制电压传输至所述阻抗匹配网络。

4.根据权利要求3所述的阻抗匹配网络调节方法，其特征在于，所述幅相测量芯片对所述入射信号和反射信号进行比对，得到比对结果之后，所述方法还包括：

所述幅相测量芯片在所述比对结果指示所述入射信号和所述反射信号之间不存在差异时，停止生成所述差异电压；

执行所述定向耦合器采集阻抗匹配网络与负载阻抗之间的入射信号和反射信号的步骤。

5.根据权利要求3所述的阻抗匹配网络调节方法，其特征在于，所述控制模块包括主控模组和受控电压源，所述控制模块根据所述幅值差异电压和所述相角差异电压生成至少一个控制电压，并将所述控制电压传输至所述阻抗匹配网络，包括：

所述主控模组根据所述幅值差异电压和所述相角差异电压生成至少一个控制信号；

所述受控电压源将所述控制信号转换生成相应的所述控制电压，并将所述控制电压传输至所述阻抗匹配网络。

6.根据权利要求5所述的阻抗匹配网络调节方法，其特征在于，所述阻抗匹配网络包括第一支路、第二支路、第三支路和第四支路，所述第一支路的第一端与所述第四支路的第一端电性连接于第一节点，所述第一支路的第二端与所述第二支路的第一端电性连接于第二节点，所述第二支路的第二端与所述第三支路的第一端电性连接于第三节点，所述第三支路的第二端与所述第四支路的第二端电性连接于第四节点，所述第一节点与所述射频电源的第一端电性连接，所述第二节点与所述射频电源的第二端电性连接，所述第三节点与所述定向耦合器电性连接，所述第四节点与所述负载阻抗电性连接。

7.根据权利要求6所述的阻抗匹配网络调节方法，其特征在于，所述第一支路和所述第三支路为电感支路，所述电感支路包括串联的第一电容和第一电感。

8.根据权利要求7所述的阻抗匹配网络调节方法，其特征在于，所述第二支路和所述第四支路为电容支路，所述电容支路包括串联的第二电容和第三电容。

9.根据权利要求8所述的阻抗匹配网络调节方法，其特征在于，所述控制电压包括第一电压和第二电压，所述第一电压和所述第二电压分别对应不同的所述控制信号，所述将所述控制电压传输至所述阻抗匹配网络，包括：

所述受控电压源将所述第一电压传输至所述阻抗匹配网络中的电感支路，令所述阻抗匹配网络根据所述第一电压调节所述电感支路的阻抗；

所述受控电压源将所述第二电压传输至所述阻抗匹配网络中的电容支路，令所述阻抗匹配网络根据所述第二电压调节所述电容支路的阻抗。