[发明专利]小抽速离子泵寿命考核装置及寿命考核方法

权利要求书

1.一种小抽速离子泵寿命考核装置，其特征在于，包括：

氢源罐(10)，所述氢源罐(10)上设置有开关阀(11)；

提纯器(20)，所述提纯器(20)通过连接管(30)与所述开关阀(11)连接，所述提纯器(20)通过恒流源加电；

三通(40)，所述三通(40)包括第一端口(41)、第二端口(42)以及第三端口(43)，所述第一端口(41)与所述提纯器(20)密封连接；

被测离子泵(50)，所述被测离子泵(50)与所述第二端口(42)密封连接，所述被测离子泵(50)通过高压电源加电；

真空阀门(60)，所述真空阀门(60)与所述第三端口(43)密封连接；

分子泵组，所述分子泵组与所述真空阀门(60)连接；

数据处理器，所述数据处理器与所述被测离子泵(50)电连接，以用于对所述被测离子泵(50)高压电源离子流数据进行采集和处理。

2.根据权利要求1所述的小抽速离子泵寿命考核装置，其特征在于，所述提纯器(20)为镍提纯器。

3.根据权利要求1所述的小抽速离子泵寿命考核装置，其特征在于，所述第一端口(41)、所述第二端口(42)以及所述第三端口(43)均设置有连接法兰(401)，所述连接法兰(401)与所述被测离子泵(50)之间、所述连接法兰(401)与所述真空阀门(60)之间、以及所述连接法兰(401)与所述提纯器(20)之间均设置有密封圈。

4.根据权利要求3所述的小抽速离子泵寿命考核装置，其特征在于，所述密封圈为无氧铜密封圈；和/或，

所述第一端与所述提纯器(20)之间的所述连接法兰(401)为与所述提纯器(20)相适配的非标准法兰；和/或，

所述第二端口(42)与所述被测离子泵(50)之间的所述连接法兰(401)为CF16法兰；和/或，

所述第三端口(43)与所述真空阀门(60)之间的所述连接法兰(401)为CF16法兰。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的小抽速离子泵寿命考核装置，其特征在于，所述真空阀门(60)为CF16高真空金属阀门。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的小抽速离子泵寿命考核装置，其特征在于，所述三通(40)的管径为6mm至8mm，所述三通(40)的壁厚为2mm至3mm。

7.一种小抽速离子泵寿命考核方法，其特征在于，所述小抽速离子泵寿命考核方法采用权利要求1至6中任一项所述的小抽速离子泵寿命考核装置执行，所述考核方法包括：

预处理步骤：对所述三通(40)进行检漏并搭建所述小抽速离子泵寿命考核装置；

高真空制备步骤：对所述小抽速离子泵寿命考核装置进行除气并将所述小抽速离子泵寿命考核装置抽至高真空；

考核步骤：利用所述恒流源对所述提纯器(20)加电并打开所述氢源罐(10)的所述开关阀(11)，并利用所述数据处理器对所述被测离子泵(50)的离子流数据进行采集，当所述被测离子泵(50)的离子流出现大幅波动甚至瞬间冲高又回落直至所述被测离子泵(50)短路时，则表明所述被测离子泵(50)寿命考核结束；

数据处理步骤：利用所述数据处理器进行数据处理并计算得到所述被测离子泵(50)的工作寿命。

8.根据权利要求7所述的小抽速离子泵寿命考核方法，其特征在于，所述预处理步骤包括：

三通(40)检漏：将所述第三端口(43)与所述真空阀门(60)封接，并将所述第一端口(41)和所述第二端口(42)用适配的盲板实现真空密封，最后用检漏仪检漏，当所述三通(40)的漏率优于3E-11Pa·m³/s时，对所述三通(40)喷吹氦气，如果5min内所述检漏仪漏率示数不增加则表明所述三通(40)满足设计要求；

装置搭建：拆下所述盲板，将所述提纯器(20)封接在所述第一端口(41)，将所述被测离子泵(50)封接在所述第二端口(42)，并按照所述三通(40)检漏的方式对所述小抽速离子泵寿命考核装置的密封性进行检测。