[发明专利]一种可快速更换靶材的磁控溅射阴极及更换靶材的方法

权利要求书

1.一种可快速更换靶材的磁控溅射阴极，包括靶材(2)和靶材安装座(3)，靶材(2)安装在靶材安装座(3)上，其特征在于，还包括磁箍冷却组件(4)、阴极屏蔽罩(5)、腔体安装法兰(6)、伸缩驱动机构(7)；

其中，靶材安装座(3)及靶材(2)位于烟囱压紧装置(1)和磁箍冷却组件(4)之间，烟囱压紧装置(1)安装在腔体安装法兰(6)上，阴极屏蔽罩(5)固定在磁箍冷却组件(4)上，磁箍冷却组件(4)穿过腔体安装法兰(6)与伸缩驱动机构(7)连接，伸缩驱动机构(7)另一端安装在腔体安装法兰(6)上；

所述烟囱压紧装置(1)具有压紧和定位靶材安装座(3)的作用；

所述靶材安装座(3)具有支耳和限位槽口；

烟囱压紧装置(1)侧边设有避让靶材安装座(3)支耳开口。

2.根据权利要求1所述的可快速更换靶材的磁控溅射阴极，其特征在于：所述烟囱压紧装置(1)包括烟囱(11)、绝缘压块(12)、支撑杆(13)，所述绝缘压块(12)安装在烟囱(11)底部，烟囱(11)底部与支撑杆(13)连接且固定在腔体安装法兰(6)上；

所述绝缘压块(12)用于定位和压紧靶材安装座(3)。

3.根据权利要求1所述的可快速更换靶材的磁控溅射阴极，其特征在于：所述靶材安装座(3)包括底部传热座(31)、靶材压环(32)，所述靶材压环(32)固定靶材于底部传热座(31)正上方，通过螺钉连接。

4.根据权利要求3所述的可快速更换靶材的磁控溅射阴极，其特征在于：所述靶材压环(32)包含支耳。

5.根据权利要求1所述的可快速更换靶材的磁控溅射阴极，其特征在于：所述：

所述磁箍冷却组件(4)包括磁体(41)、磁轭(42)、磁箍(43)、连接管(44)、波纹管(45)；

所述磁轭(42)位于磁箍(43)正下方，通过螺钉固定；

磁体(41)安装在磁箍(43)上安装孔内，所述磁轭(42)为导磁材料；连接管(44)一端与磁箍(43)连接，另一端穿过波纹管(45)与其法兰连接；波纹管(45)另一端连接到腔体法兰(6)上，可实现磁体(41)、磁轭(42)及磁箍(43)这些部件相对腔体法兰(6)上下运动，减少与烟囱压紧装置(1)下方绝缘压块的间距，压紧靶材安装座(3)。

6.根据权利要求5所述的可快速更换靶材的磁控溅射阴极，其特征在于：

所述磁体(41)为永磁体或者电磁体。

7.根据权利要求5所述的可快速更换靶材的磁控溅射阴极，其特征在于：

所述阴极屏蔽罩(5)上表面低于磁箍(43)上表面。

8.根据权利要求2所述的可快速更换靶材的磁控溅射阴极，其特征在于：

所述绝缘压块(12)采用陶瓷材质。

9.一种可快速更换靶材的磁控溅射阴极的更换靶材的方法，其特征在于：包括以下步骤：

磁控溅射阴极需更换靶材时，伸缩驱动机构(6)驱动下，磁箍冷却组件(4)下移，拉开与烟囱压紧装置(1)的间距，利用磁控溅射设备自带的传样系统抓取靶材安装座(3)边上的支耳，从阴极屏蔽罩(5)侧边取出靶材安装座(3)及其中的靶材(2)后送至传样系统的腔室内；之后，再利用传样系统将腔室内的新靶材安装座(3)及其中的靶材(2)送到原磁箍冷却组件(4)正上方，伸缩驱动机构(7)驱动下，磁箍冷却组件(4)上移，缩短与烟囱压紧装置(1)的间距，使烟囱压紧装置压住靶材安装座(3)。