[发明专利]一种上部穿腔、一种下部穿腔及一种穿腔设备

说明书

本发明公开了一种上部穿腔、一种下部穿腔及一种穿腔设备，其中所述上部穿腔具有沿着所述上部穿腔的顶端面向下凹陷形成的上部凹腔，上部管路贯穿上部凹腔并伸入上部穿腔的内腔，上部管路位于上部凹腔内的部分与上部凹腔的侧壁之间具有间隙。本发明通过改变上部穿腔和下部穿腔的结构，从而来削弱上部管路与上盖板之间以及下部管路与固定件之间的热传递，同时增大了加热源，如此便防止了气体冷凝，防止了晶圆报废，从而避免了更换气体管路，节省了人力、财力，同时提高了机组设备的作业效率。

技术领域

本发明涉及气体管路领域，更具体地说，涉及一种上部穿腔、一种下部穿腔及一种穿腔设备。

背景技术

输送气体的气体管路中包括穿腔设备，穿腔设备主要包括上部穿腔和下部穿腔。上部管路从上部穿腔的上方穿设入上部穿腔内，下部管路从下部穿腔的下方穿设入下部穿腔内。在正常作业时，上部穿腔和下部穿腔闭合接触，以使上部管路和下部管路接通。在需要检修时，驱动上部穿腔与下部穿腔分离。

在输送气体时，气体管道内的温度需要维持在预设的温度值，以防止工艺气体冷凝残留在管壁上，后与其它反应气体反应形成颗粒。如果存留在管壁冷凝的气体与其它气体反应生成颗粒，那么随着颗粒的增加，颗粒会爆出超出标准，从而导致晶圆报废。在实际的作业中晶圆报废时有发生，在发现晶圆报废后，技术人员需要将所有的气体管路进行更换，如此，会耗费大量的人力和财力，同时会影响机组设备的作业效率。

因此，如何规避气体冷凝，从而防止晶圆报废，避免更换气体管路，是本领域技术人员亟待解决的关键性问题。

发明内容

本发明的目的是规避气体冷凝，从而防止晶圆报废，避免更换气体管路。为实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：

一种上部穿腔，其特征在于，所述上部穿腔具有沿着所述上部穿腔的顶端面向下凹陷形成的上部凹腔，上部管路贯穿所述上部凹腔并伸入所述上部穿腔的内腔中，所述上部管路位于所述上部凹腔内的部分与所述上部凹腔的侧壁之间具有间隙。

优选地，所述上部管路外套设有上部加热套，所述上部加热套沿着所述上部管路的轴向延伸并伸入所述上部凹腔内部，所述上部加热套位于所述上部凹腔内的部分与所述上部凹腔的侧壁之间具有间隙。

优选地，所述上部穿腔上设置有用于与第一外部连接件连接的法兰，所述法兰盘在径向上凸出于所述上部穿腔。

优选地，在所述法兰盘的边缘部与所述第一外部连接件之间设置有隔块，所述隔块为围绕所述上部穿腔的轴线布置的多个，相邻的两个所述隔块之间具有间隙。

优选地，所述法兰盘通过锁紧螺栓与所述第一外部连接件锁紧，所述隔块上设置有供所述锁紧螺栓贯穿的螺栓通孔。

优选地，所述第一外部连接件为上盖板。

本发明还提供了一种下部穿腔，其特征在于，所述下部穿腔具有从所述下部穿腔的底端面向上凹陷形成的下部凹腔，下部管路贯穿所述下部凹腔并伸入所述下部穿腔的内腔，所述下部管路位于所述下部凹腔内的部分与所述下部凹腔的侧壁之间具有间隙。

优选地，所述下部管路外套设有下部加热套，所述下部加热套沿着所述下部管路的轴向延伸并伸入所述下部凹腔的内部，所述下部加热套位于所述下部凹腔内的部分与所述下部凹腔的侧壁之间具有间隙。

优选地，在所述下部凹腔的作用下，所述下部穿腔的底端面为环形端面，第二外部连接件与所述环形端面接触。

优选地，所述第二外部连接件为固定腔体。

本发明还提供了一种穿腔设备，包括上部穿腔和下部穿腔，所述上部穿腔为上述任意一项所述的上部穿腔，所述下部穿腔为上述任意一项所述的下部穿腔。