[发明专利]一种微型微弱带电粒子束流探测装置

权利要求书

1.一种微型微弱带电粒子束流探测装置，其特征在于，所述的探测装置包括：

电子抑制极(1)，用于抑制二次电子；

束流吸收极(2)，用于吸收带电粒子束流；

信号放大极(3)，用于产生二次放大的电子流；

信号吸收极(4)，用于探测吸收总的放大电流信号；

所述的电子抑制极(1)、束流吸收极(2)、信号放大极(3)和信号吸收极(4)分别为沿迎面带电束流方向依次设置；所述的探测装置的工作环境为真空环境。

2.根据权利要求1所述的一种微型微弱带电粒子束流探测装置，其特征在于，所述的探测装置设有真空连接支座(5)，用于安装固定螺杆(501)和真空电极(502)。

3.根据权利要求2所述的一种微型微弱带电粒子束流探测装置，其特征在于，所述的真空连接支座(5)采用CF35刀口法兰标准；所述的真空连接支座(5)的法兰面上均匀布置三个螺纹孔用于安装固定螺杆(501)，在与螺纹孔的同心环上交错布置三个真空电极接口(502)用于安装真空电极。

4.根据权利要求2所述的一种微型微弱带电粒子束流探测装置，其特征在于，所述的电子抑制极(1)绝缘安装在固定螺杆(501)上，并与真空连接支座(5)的一个真空电极相连。

5.根据权利要求2所述的一种微型微弱带电粒子束流探测装置，其特征在于，所述的束流吸收极(2)绝缘安装在固定螺杆(501)上，并与真空连接支座(5)的一个真空电极相连。

6.根据权利要求5所述的一种微型微弱带电粒子束流探测装置，其特征在于，所述的束流吸收极(2)包括多孔圆环薄片和微通道圆板；所述的微通道圆板同心点焊在多孔圆环薄片的反面。

7.根据权利要求2所述的一种微型微弱带电粒子束流探测装置，其特征在于，所述的信号放大极(3)非绝缘安装在固定螺杆(501)上。

8.根据权利要求7所述的一种微型微弱带电粒子束流探测装置，其特征在于，所述的信号放大极(3)包括多孔圆环薄片和微通道圆板；所述的微通道圆板同心点焊在多孔圆环薄片正面。

9.根据权利要求2所述的一种微型微弱带电粒子束流探测装置，其特征在于，所述的信号吸收极(4)绝缘安装在固定螺杆(501)上，并与真空连接支座(5)的一个真空电极相连。

10.根据权利要求9所述的一种微型微弱带电粒子束流探测装置，其特征在于，所述的信号吸收极(4)的中心位置设有锥形半沉孔，用于抑制二次电子产生并收集放大的电子信号。