[发明专利]伯努利夹盘可靠性的测试方法

权利要求书

1.一种伯努利夹盘可靠性的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1，采用激光位移计检测伯努利夹盘的水平和/或跳动；

步骤2，判断伯努利夹盘的水平和跳动是否处于设定范围，若伯努利夹盘的水平和跳动超出设定范围，则判定设备异常，暂停测试，对伯努利夹盘进行检修，之后重新执行步骤1；若伯努利夹盘的水平和跳动处于设定范围内，则执行步骤3；

步骤3，提供一测试片，由伯努利夹盘保持测试片，采用激光位移计检测测试片的水平和/或跳动；

步骤4，判断测试片的水平和跳动是否处于设定范围，若测试片的水平和跳动超出设定范围，则判定设备异常，暂停测试，对伯努利夹盘进行检修，之后重新执行步骤3，若测试片的水平和跳动处于设定范围内，则测试结束。

2.根据权利要求1所述的伯努利夹盘可靠性的测试方法，其特征在于，

在步骤2中，若伯努利夹盘的水平和跳动超出设定范围，则判定设备异常，暂停测试，对伯努利夹盘的结构进行检修；

在步骤4中，若测试片的水平和跳动超出设定范围，则判定设备异常，暂停测试，对伯努利夹盘的气路进行检修。

3.根据权利要求1所述的伯努利夹盘可靠性的测试方法，其特征在于，所述采用激光位移计检测伯努利夹盘的跳动包括以下步骤：

通过第一激光位移计发射激光照射在伯努利夹盘的边缘位置；

驱动伯努利夹盘转动，通过第一激光位移计采集伯努利夹盘边缘位置上各点的位移信息；

根据第一激光位移计采集的位移信息，模拟伯努利夹盘的跳动波形图，完成伯努利夹盘的跳动测试。

4.根据权利要求1所述的伯努利夹盘可靠性的测试方法，其特征在于，所述采用激光位移计检测伯努利夹盘的水平包括以下步骤：

通过第一激光位移计发射激光照射在伯努利夹盘的边缘位置，通过第二激光位移计发射激光照射在伯努利夹盘的中心位置，其中，第一激光位移计和第二激光位移计定位在同一高度；

驱动伯努利夹盘转动，通过第一激光位移计采集伯努利夹盘边缘位置上各点的位移信息，通过第二激光位移计采集伯努利夹盘中心位置的位移信息；

以伯努利夹盘中心位置的位移为基点，根据第一激光位移计和第二激光位移计采集的位移信息，计算伯努利夹盘的边缘位置上各点的倾斜角度，模拟出伯努利夹盘的水平波形图，完成伯努利夹盘的水平测试。

5.根据权利要求1所述的伯努利夹盘可靠性的测试方法，其特征在于，所述采用激光位移计检测伯努利夹盘的水平包括以下步骤：

通过第一激光位移计发射激光照射在伯努利夹盘的边缘位置，通过第二激光位移计发射激光照射在伯努利夹盘的中心位置，其中，第一激光位移计和第二激光位移计定位在同一高度；

驱动伯努利夹盘转动，通过第二激光位移计采集伯努利夹盘中心位置的位移信息，第一激光位移计沿伯努利夹盘的径向自伯努利夹盘的边缘位置向中心位置移动，通过第一激光位移计采集伯努利夹盘上各点的位移信息；

以伯努利夹盘中心位置的位移为基点，根据第一激光位移计和第二激光位移计采集的位移信息，计算伯努利夹盘上各点的倾斜角度，模拟伯努利夹盘水平的空间3D立体图像，完成伯努利夹盘的水平测试。

6.根据权利要求4或5所述的伯努利夹盘可靠性的测试方法，其特征在于，还包括根据第一激光位移计采集的伯努利夹盘边缘位置上各点的位移信息，模拟伯努利夹盘的跳动波形图，完成伯努利夹盘的跳动测试。

7.根据权利要求1所述的伯努利夹盘可靠性的测试方法，其特征在于，所述采用激光位移计检测测试片的跳动包括以下步骤：

测试片保持在伯努利夹盘上；

通过第一激光位移计发射激光照射在测试片的边缘位置；

驱动伯努利夹盘和测试片同步转动，通过第一激光位移计采集测试片边缘位置上各点的位移信息；

根据第一激光位移计采集的位移信息，模拟测试片的跳动波形图，完成测试片的跳动测试。