[发明专利]氦质谱检漏仪

权利要求书

1.一种氦质谱检漏仪，其特征在于，包括机架(1)以及设置在所述机架(1)上的上料模组(2)，所述上料模组(2)包括：

传送组件(21)，所述传送组件(21)包括两个同步带(211)，两个所述同步带(211)平行且间隔设置；

定位组件(22)，所述定位组件(22)设置于所述传送组件(21)的一端，所述定位组件(22)包括变距气缸(221)以及光电传感器(223)，所述变距气缸(221)设置于两个所述同步带(211)之间，所述变距气缸(221)被配置为在垂直于所述同步带(211)的运输面上对放置在所述同步带(211)表面的待检产品进行阻挡；所述光电传感器(223)被配置为检测待检产品的位置信息并传递位置信息至所述传送组件(21)；所述定位组件(22)被配置为将待检产品等间距分布。

2.根据权利要求1所述的氦质谱检漏仪，其特征在于，所述定位组件(22)还包括限位件(222)，所述变距气缸(221)包括沿所述同步带(211)上表面运动方向依次分布的第一气缸(2211)以及第二气缸(2212)，所述第一气缸(2211)被配置为对未分间距的待检产品进行阻挡，所述第二气缸(2212)设置有多个且等间距分布；

所述限位件(222)与所述第二气缸(2212)一一对应，并设置于所述同步带(211)的外侧，所述限位件(222)被配置为在与所述同步带(211)上表面平行的方向上对待检产品进行限位。

3.根据权利要求2所述的氦质谱检漏仪，其特征在于，所述限位件(222)包括：

边挡板(2221)，所述边挡板(2221)设置于所述同步带(211)沿输送方向的一侧；

限位气缸(2222)，所述限位气缸(2222)设置于所述同步带(211)沿输送方向的另一侧，所述限位气缸(2222)被配置为与所述边挡板(2221)配合对待检产品进行夹持定位。

4.根据权利要求3所述的氦质谱检漏仪，其特征在于，所述定位组件(22)还包括对齐气缸(224)，所述对齐气缸(224)与所述限位气缸(2222)位于所述同步带(211)的同一侧，且所述对齐气缸(224)与所述限位气缸(2222)沿所述同步带(211)上表面的运动方向依次分布，所述对齐气缸(224)被配置为与所述边挡板(2221)配合，以使处于所述第一气缸(2211)阻挡状态的待检产品对齐。

5.根据权利要求1所述的氦质谱检漏仪，其特征在于，所述传送组件(21)还包括安装板(2121)以及螺纹杆(2122)；

所述安装板(2121)设置有两个，每个所述安装板(2121)上设置有一个所述同步带(211)；

所述螺纹杆(2122)垂直穿过两个所述安装板(2121)，所述螺纹杆(2122)被配置为调节两个所述安装板(2121)之间的间距。

6.根据权利要求1所述的氦质谱检漏仪，其特征在于，还包括：

氦检模组(3)，所述氦检模组(3)包括一个氦质谱仪以及多个氦检模具，多个所述氦检模具均与一个所述氦质谱仪连接，所述氦检模具包括上模具(31)、下模具(32)以及移动组件(33)，所述移动组件(33)被配置为将所述下模具(32)从第一位置移动至第二位置，以使下模具(32)位于所述上模具(31)正下方；

下料模组(4)和搬运模组(5)，所述搬运模组(5)包括导轨(51)以及吸盘组件(52)，所述导轨(51)横跨所述上料模组(2)、氦检模组(3)以及下料模组(4)，所述吸盘组件(52)与所述导轨(51)滑动连接，且所述吸盘组件(52)被配置为在所述上料模组(2)、氦检模组(3)以及下料模组(4)之间运输待检产品；

控制模组，所述控制模组被配置为与所述上料模组(2)、氦检模组(3)、下料模组(4)以及搬运模组(5)电连接并用于驱动所述上料模组(2)、氦检模组(3)、下料模组(4)以及搬运模组(5)动作。