[发明专利]一种软脆材料柔性研磨装置

权利要求书

1.一种软脆材料柔性研磨装置，其特征在于，

包括研磨盘(4)和工件固定装置(3)；

所述研磨盘(4)上设置有研磨垫(7)，所述研磨盘(4)和研磨垫(7)在驱动装置的作用下转动；

所述工件固定装置(3)设置在研磨盘(4)上方，用于夹持待研磨工件并使其径向振动，所述待研磨工件可在工件固定装置(3)的带动下进行自转；待研磨工件下端与研磨垫(7)接触，在转动的过程中与研磨垫(7)产生相对摩擦，以实现研磨的作用。

2.根据权利要求1所述的软脆材料柔性研磨装置，其特征在于，

所述研磨垫(7)包括研磨层(72)和柔性层(71)，所述柔性层(71)位于研磨层(72)的下方，并与研磨层(72)的下表面固定连接；

所述研磨层(72)上设置有若干个微型孔(721)，所述通孔内设置磨粒。

3.根据权利要求2所述的软脆材料柔性研磨装置，其特征在于，

所述研磨层(72)采用可溶于水的材料制备而成；

所述研磨层(72)中设有易溶物质，并且易溶物质的溶解速度大于研磨层(72)。

4.根据权利要求1所述的软脆材料柔性研磨装置，其特征在于，

所述工件固定装置(3)包括连接体(33)，所述连接体(33)内部设置有空腔；

所述空腔内设置有夹持机构(35)，通过夹持机构(35)夹持待研磨工件。

5.根据权利要求4所述的软脆材料柔性研磨装置，其特征在于，

所述空腔内部还设置有液囊(34)，液囊(34)固定安装在空腔内；

所述液囊(34)位于夹持机构(35)内，液囊(34)的下表面与待研磨工件接触，可通过向液囊(34)内加入液体使其膨胀，从而对待研磨工件施加均匀向下的压力。

6.根据权利要求5所述的软脆材料柔性研磨装置，其特征在于，

所述夹持机构(35)包括第一传动杆(351)、第一锥齿轮(352)、第二锥齿轮(353)、第二传动杆(354)、衔接座(355)和夹爪(356)；

所述第一传动杆(351)水平设置，与第一锥齿轮(352)固定连接，第二锥齿轮(353)与第一锥齿轮(352)相互啮合，所述第二锥齿轮(353)与第一锥齿轮(352)传动连接；所述第二传动杆(354)上端与第二锥齿轮(353)固定连接，下端与衔接座(355)螺纹连接；

所述夹爪(356)的设置数量为四组，每组夹爪(356)均包括第一弧形杆(3561)和第二弧形杆(3562)，所述第一弧形杆(3561)上端与衔接座(355)固定连接，下端与第二弧形杆(3562)铰接；所述第二弧形杆(3562)与连接体(33)铰接；

所述第一传动杆(351)在电机的驱动下旋转，带动第一锥齿轮(352)和第二锥齿轮(353)转动，第二锥齿轮(353)带动第二传动杆(354)转动，进而使衔接座(355)相对于第二传动杆(354)下降或者上升，实现夹爪(356)夹持或者释放的作用。

7.根据权利要求6所述的软脆材料柔性研磨装置，其特征在于，

所述第一锥齿轮(352)的齿数大于第二锥齿轮(353)的齿数。

8.根据权利要求4所述的软脆材料柔性研磨装置，其特征在于，

所述连接体(33)上方固定设置有振动杆(31)，振动杆(31)上设置有压电陶瓷(32)；

所述压电陶瓷(32)径向振动，从而带动待研磨工件表面与磨粒之间进行高频率的径向往复划擦作用。

9.根据权利要求5所述的软脆材料柔性研磨装置，其特征在于，

所述液囊(34)上方设置有压力传感器，用于检测液囊(34)的压力。

10.根据权利要求1所述的软脆材料柔性研磨装置，其特征在于，

所述驱动装置包括传动轴(5)和驱动电机(6)，所述驱动电机(6)与传动轴(5)驱动连接，传动轴(5)与研磨盘(4)固定连接，驱动电机(6)驱动传动轴(5)旋转，进而带动研磨盘(4)转动。