[发明专利]一种硅片夹取装置在审
申请号: | 202111657439.8 | 申请日: | 2021-12-30 |
公开(公告)号: | CN114180339A | 公开(公告)日: | 2022-03-15 |
发明(设计)人: | 董晓清 | 申请(专利权)人: | 无锡市江松科技有限公司 |
主分类号: | B65G49/05 | 分类号: | B65G49/05 |
代理公司: | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人: | 郭慧 |
地址: | 214000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 装置 | ||
本发明涉及硅片运输技术领域,具体涉及一种硅片夹取装置。本发明包括安装座,安装座上设置有轨道,轨道上对称设置有滑块,安装座上位于所述轨道两端设置有导轮,导轮上设置有传动带,滑块上设置有与传动带啮合的啮合板,安装座上设置有驱动导轮旋转的电机,滑块上设置有第一安装板和第二安装板,第一安装板和第二安装板上分别设置有第一吸盘和第二吸盘,第一吸盘和第二吸盘上均设置有气源连接口。本发明结构合理、简单,操作便捷,将外部气源与气源连接口进行连接,通过第一吸盘和第二吸盘对硅片进行吸取,电机驱动滑块在轨道上进行移动,最后将硅片放置在石英舟中,避免了夹爪对硅片的损坏,大大的降低了生产的成本。
技术领域
本发明涉及硅片运输技术领域,具体涉及一种硅片夹取装置。
背景技术
硅片,是制作集成电路的重要材料,通过对硅片进行光刻、离子注入等手段,可以制成各种半导体器件。同时用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力。使得硅片已广泛应用于航空航天、工业、农业和国防等领域。
当硅片生产完成后,需要将硅片从花篮中移动至石英舟中,现有技术中,通常使用夹爪对硅片进行输送,夹爪的夹取常常会对硅片表面造成划痕以及损伤,由于损伤的硅片无法使用,从而造成损耗,大大的提高生产的成本。
上述问题是本领域亟需解决的问题。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种硅片夹取装置,通过吸盘对硅片进行吸取,从而避免对硅片的损坏。
为了解决上述技术问题,本发明提供的方案是:一种硅片夹取装置,包括安装座,所述安装座上设置有轨道,所述轨道上对称设置有滑块,所述安装座上位于所述轨道两端设置有导轮,所述导轮上设置有传动带,所述滑块上设置有与所述传动带啮合的啮合板,所述安装座上设置有驱动所述导轮旋转的电机,所述滑块上设置有第一安装板和第二安装板,所述第一安装板和所述第二安装板上分别设置有第一吸盘和第二吸盘,所述第一吸盘和第二吸盘上均设置有气源连接口。
作为本发明的进一步改进,所述第一吸盘包括第一盘体,所述第一盘体顶部设置有第一连接孔,所述第一盘体内部设置有与所述第一连接孔连通的第一吸气孔。
作为本发明的进一步改进,所述第二吸盘包括第二盘体,所述第二盘体顶部设置有第二连接孔,所述第二盘体内部设置有与所述第二连接孔连通的第二吸气孔。
作为本发明的进一步改进,所述第一盘体底部间隔设置有第一吸板和第二吸板,所述第一吸板和所述第二吸板之间形成第一卡槽,所述第二盘体底部对应所述第一吸板设置有第二卡槽,所述第二盘体上位于所述第二卡槽下方对应所述第一卡槽设置有第三吸板。
作为本发明的进一步改进,所述第一吸气孔延伸至所述第一吸板和所述第二吸板上,所述第二吸气孔延伸至所述第三吸板上。
作为本发明的进一步改进,所述第二安装板上设置有与所述轨道互相垂直的滑动组件,所述第二安装板上设置有驱动所述滑动组件移动的驱动电机。
作为本发明的进一步改进,所述安装座上设置有传感器。
本发明的有益效果:
本发明结构合理、简单,操作便捷,将外部气源与气源连接口进行连接,通过第一吸盘和第二吸盘对硅片进行吸取,电机驱动滑块在轨道上进行移动,从而使得第一吸盘和第二吸盘进行相对运动,使得硅片进行重合,最后将硅片放置在石英舟中,避免了夹爪对硅片的损坏,大大的降低了生产的成本。
附图说明
图1是本发明的结构示意图;
图2是本发明另一视角的结构示意图;
图3是本发明第一吸盘的结构示意图;
图4是本发明第二吸盘的结构示意图。
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