[发明专利]一种发光元件在审
申请号: | 202111662018.4 | 申请日: | 2021-12-30 |
公开(公告)号: | CN114361307A | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
发明(设计)人: | 林志远;欧政宜;纪政孝 | 申请(专利权)人: | 兆劲科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/14 | 分类号: | H01L33/14 |
代理公司: | 深圳市中科云策知识产权代理有限公司 44862 | 代理人: | 章明美;陈科恒 |
地址: | 中国台湾新竹科学园区*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 发光 元件 | ||
本发明提供了一种发光元件,包括由下而上依序形成的:基底、下披覆层、下局限层、主动层、上局限层、上披覆层、窗口层、穿隧接面层。穿隧接面层包含重掺杂p型层及重掺杂n型层,重掺杂n型层毗邻设置于重掺杂p型层的上方,重掺杂p型层设置于窗口层的上方,通过重掺杂n型层做为欧姆接触层与外部电源接触而有利于欧姆接触。本发明的欧姆接触层其掺杂浓度大于传统LED中的掺杂浓度,因此比传统LED的欧姆接触层电阻还低,而有利于电流横向扩散,发光总能量也大于传统LED,同时本发明的主动层温度也低于传统LED。
技术领域
本发明涉及光学半导体技术领域,具体为一种发光元件。
背景技术
光学半导体元件例如发光元件,其包含发光二极管(Light-emitting diod e,LED)及激光二极管(Laser Diode,LD),发光元件是利用磊晶技术在半导体底材上形成p-n接面或p-i-n接面,以达到发光的目的。请参照图1,现有技术中之发光元件(例如LED)是由磊晶形成,其结构由下而上依序包括:基底(Substate)1、分布式布拉格反射镜(distributed Bragg reflector,DBR)层2、下披覆层(lower cladding layer)3、下局限层(confinement layer)4、主动层(active layer)5、上局限层6、上披覆层(upper claddinglayer)7及窗口层(window layer)8。另有二个接触层(Contact)例如为下电极(electrode)C1及上电极C2,在基底1的下方则为下电极C1,至于在窗口层8之上方则形成上电极C2,下电极C1及上电极C2分别与基底1及窗口层8形成欧姆接触(ohmic contact)以对主动层5提供电能并注入载子。下电极C1、基底1、分布式布拉格反射层2及下披覆层3是第一传导型例如n型,上电极C2、窗口层8及上披覆层7是第二传导型例如p型,下局限层6、主动层5及上局限层4则是未掺杂。例如,磷化铝镓铟(AlGaInP)是LED的磊芯片结构是在砷化镓(GaAs)构成的n型基底1上依序生长n型DBR层2、n型下披覆层3,以及未掺杂AlGaInP构成的下局限层4、主动层5及上局限层6,接着p型上披覆层7、磷化镓(GaP)构成的p型窗口层8,以及接着GaP构成的p型上电极C2。
一般而言,窗口层8是做为电流分布(Current Spreading)层,这是利用窗口层8的高导电率(低电阻)而使电流横向扩散,以提高LED的发光效率。而在窗口层8上方的上电极C2一般是以圆形做为接线用,其以蚀刻方式使得面积小于窗口层8,因此大部分电流会被先局限于上电极C2的圆形面积下方,然后再通过窗口层8使电流横向扩散。然而,这样的结构设计只适合用于低电流(例如小于8mA(毫安))的操作条件,因为较低的电流使得载子有足够的时间在窗口层8横向扩散。
当为了提高LED发光总能量(total power)时,通常是以提高电流(例如大于或等于8mA)的方式从上电极C2输入,高电流并无法如低电流般在窗口层8有足够的时间横向扩散,即是说,相对于低电流而言,在高电流的操作条件下使得载子更被局限在圆形面积下方,因而圆形面积下方的载子密度较大,即使将窗口层8的厚度再增厚也无法及时使高电流横向扩散。前述高电流无法及时横向扩散造成了主动层15的量子井结构只有一部分被运用到,另外前述圆形面积下方的载子密度较大也造成LED运作时主动层5的温度会较高,例如高达485℃(于高电流为10mA),然而较高的主动层温度却会使得LED的发光总能量无法随着电流的提高而有效地增加。
再者,如前所述制作上电极C2必须以蚀刻方式进行,这使得制作LED时必须经历磊晶与蚀刻制程,因此制造的程序繁琐、风险也提高及良率面临了挑战。
发明内容
本发明的目的在于提供一种发光元件,以解决上述背景技术中提出的技术问题。
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