[发明专利]一种边射型激光元件在审

专利信息
申请号: 202111662184.4 申请日: 2021-12-30
公开(公告)号: CN114361935A 公开(公告)日: 2022-04-15
发明(设计)人: 欧政宜;林志远;纪政孝 申请(专利权)人: 兆劲科技股份有限公司
主分类号: H01S5/028 分类号: H01S5/028
代理公司: 深圳市中科云策知识产权代理有限公司 44862 代理人: 章明美;陈科恒
地址: 中国台湾新竹科学园区*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 一种 边射型 激光 元件
【权利要求书】:

1.一种边射型激光元件,其特征在于,包括

基底(11);

第一n型披覆层(12),所述第一n型披覆层(12)设置于所述基底(11)的上方;

光栅层(G),所述光栅层(G)设置于所述第一n型披覆层(12)的上方;

间隔层(S),所述间隔层(S)设置于所述光栅层(G)的上方;

下光局限单元(13),所述下光局限单元(13)设置于所述间隔层(S)的上方;

主动层(14),所述主动层(14)设置于所述下光局限单元(13)的上方;

上光局限单元(15),所述上光局限单元(15)设置于所述主动层(14)的上方;

p型披覆层(16),所述p型披覆层(16)设置于所述上光局限单元(15)的上方;

穿隧接面层(17),所述穿隧接面层(17)设置于所述p型披覆层(16)的上方;

第二n型披覆层(18),所述第二n型披覆层(18)设置于所述穿隧接面层(17)的上方。

2.根据权利要求1所述的一种边射型激光元件,其特征在于,所述穿隧接面层包括蚀刻停止层。

3.根据权利要求2所述的一种边射型激光元件,其特征在于,所述穿隧接面层(17)的材料为磷砷化铟镓、砷化铝镓铟、砷化铟镓或砷化铝铟。

4.根据权利要求1所述的一种边射型激光元件,其特征在于,所述边射型激光元件的光场(L)与所述主动层(14)的耦合是在所述主动层(14)厚度的中间位置。

5.一种边射型激光元件,其特征在于,包括

基底(11);

第一n型披覆层(12),所述第一n型披覆层(12)设置于所述基底(11)的上方;

下光局限单元(13),所述下光局限单元(13)设置于所述第一n型披覆层(12)的上方;

主动层(14),所述主动层(14)设置于所述下光局限单元(13)的上方;

上光局限单元(15),所述上光局限单元(15)设置于所述主动层(14)的上方;

p型披覆层(16),所述p型披覆层(16)设置于所述上光局限单元(15)的上方;

穿隧接面层(17),所述穿隧接面层(17)设置于所述p型披覆层(16)的上方;

下第二n型披覆层(181),所述下第二n型披覆层(181)设置于所述穿隧接面层(17)的上方;

光栅层(G),所述光栅层(G)设置于所述下第二n型披覆层(181)的上方;

上第二n型披覆层(182),所述上第二n型披覆层(182)设置于所述光栅层(G)的上方。

6.根据权利要求5所述的一种边射型激光元件,其特征在于,所述穿隧接面层(17)包括蚀刻停止层,所述穿隧接面层(17)的材料为磷砷化铟镓、砷化铝镓铟、砷化铟镓或砷化铝铟。

7.根据权利要求5所述的一种边射型激光元件,其特征在于,所述边射型激光元件的光场(L)与所述主动层(14)的耦合是在所述主动层(14)厚度的中间位置。

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