[发明专利]一种边射型激光元件在审
申请号: | 202111662184.4 | 申请日: | 2021-12-30 |
公开(公告)号: | CN114361935A | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
发明(设计)人: | 欧政宜;林志远;纪政孝 | 申请(专利权)人: | 兆劲科技股份有限公司 |
主分类号: | H01S5/028 | 分类号: | H01S5/028 |
代理公司: | 深圳市中科云策知识产权代理有限公司 44862 | 代理人: | 章明美;陈科恒 |
地址: | 中国台湾新竹科学园区*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 边射型 激光 元件 | ||
1.一种边射型激光元件,其特征在于,包括
基底(11);
第一n型披覆层(12),所述第一n型披覆层(12)设置于所述基底(11)的上方;
光栅层(G),所述光栅层(G)设置于所述第一n型披覆层(12)的上方;
间隔层(S),所述间隔层(S)设置于所述光栅层(G)的上方;
下光局限单元(13),所述下光局限单元(13)设置于所述间隔层(S)的上方;
主动层(14),所述主动层(14)设置于所述下光局限单元(13)的上方;
上光局限单元(15),所述上光局限单元(15)设置于所述主动层(14)的上方;
p型披覆层(16),所述p型披覆层(16)设置于所述上光局限单元(15)的上方;
穿隧接面层(17),所述穿隧接面层(17)设置于所述p型披覆层(16)的上方;
第二n型披覆层(18),所述第二n型披覆层(18)设置于所述穿隧接面层(17)的上方。
2.根据权利要求1所述的一种边射型激光元件,其特征在于,所述穿隧接面层包括蚀刻停止层。
3.根据权利要求2所述的一种边射型激光元件,其特征在于,所述穿隧接面层(17)的材料为磷砷化铟镓、砷化铝镓铟、砷化铟镓或砷化铝铟。
4.根据权利要求1所述的一种边射型激光元件,其特征在于,所述边射型激光元件的光场(L)与所述主动层(14)的耦合是在所述主动层(14)厚度的中间位置。
5.一种边射型激光元件,其特征在于,包括
基底(11);
第一n型披覆层(12),所述第一n型披覆层(12)设置于所述基底(11)的上方;
下光局限单元(13),所述下光局限单元(13)设置于所述第一n型披覆层(12)的上方;
主动层(14),所述主动层(14)设置于所述下光局限单元(13)的上方;
上光局限单元(15),所述上光局限单元(15)设置于所述主动层(14)的上方;
p型披覆层(16),所述p型披覆层(16)设置于所述上光局限单元(15)的上方;
穿隧接面层(17),所述穿隧接面层(17)设置于所述p型披覆层(16)的上方;
下第二n型披覆层(181),所述下第二n型披覆层(181)设置于所述穿隧接面层(17)的上方;
光栅层(G),所述光栅层(G)设置于所述下第二n型披覆层(181)的上方;
上第二n型披覆层(182),所述上第二n型披覆层(182)设置于所述光栅层(G)的上方。
6.根据权利要求5所述的一种边射型激光元件,其特征在于,所述穿隧接面层(17)包括蚀刻停止层,所述穿隧接面层(17)的材料为磷砷化铟镓、砷化铝镓铟、砷化铟镓或砷化铝铟。
7.根据权利要求5所述的一种边射型激光元件,其特征在于,所述边射型激光元件的光场(L)与所述主动层(14)的耦合是在所述主动层(14)厚度的中间位置。
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