[发明专利]一种超声波探头晶元测量装置

权利要求书

1.一种超声波探头晶元测量装置，其特征在于：包括测试机柜和自动测试平台，自动测试平台包括运动测试头模组、转换连接治具和承载平台，承载平台设置在测试机柜的柜体上，运动测试头模组设置在承载平台上，包括三轴运动机构和设置于其上的测试头，转换连接治具可拆卸的设置在承载平台上，转换连接治具包括转换连接电路板和用于夹持固定转换连接电路板的测试夹具，转换连接电路板夹放于测试夹具中，转换连接电路板上具有测试标准区域和产品转接区域，测试标准区域上规则排列设置有阵列式焊盘PAD点，产品转接区域上设置有晶元接触单元，晶元接触单元用来连接超声波探头晶元，晶元接触单元与测试标准区域的焊盘PAD点通过印刷导线对应连接。

2.根据权利要求1所述的超声波探头晶元测量装置，其特征在于，测试夹具上层盖板上开有测试窗口和产品连接口，测试标准区域对应位于测试夹具的测试窗口处，产品转接区域对应位于测试夹具的产品连接口处。

3.根据权利要求2所述的超声波探头晶元测量装置，其特征在于，所述晶元接触单元可以设置成插槽结构或贴片接触式结构。

4.根据权利要求2所述的超声波探头晶元测量装置，其特征在于，所述测试夹具上的测试窗口并列的设置有两个，测试标准区域的数量与测试窗口相同。

5.根据权利要求3所述的超声波探头晶元测量装置，其特征在于，测试标准区域一侧设置有校准接头，显露于测试窗口处。

6.根据权利要求1所述的超声波探头晶元测量装置，其特征在于，所述三轴运动机构包括X轴直线位移模组、Y轴直线位移模组和Z轴直线位移模组，X轴直线位移模组直接设置在承载平台上，且位于转换连接治具的一侧，X轴直线位移模组上设置有两个Y轴直线位移模组，每个Y轴直线位移模组上均设置有Z轴直线位移模组，Z轴直线位移模组上配置测试头，可在转换连接治具的上方各自独立运动。

7.根据权利要求6所述的超声波探头晶元测量装置，其特征在于，所述测试头上具有一组测试针，规则的排列在测试头的底部，用来接触转换连接电路板。

8.根据权利要求1所述的超声波探头晶元测量装置，其特征在于，所述承载平台上设置有支撑座，用于支撑转换连接治具，支撑座的端部设置有肘夹，方便支撑转换连接治具的拆卸和固定；支撑座上方还设置有挡板。

9.根据权利要求1-8任一所述的超声波探头晶元测量装置，其特征在于，所述测试机柜的柜体上还设置有工控机、测量仪和显示器，互相与自动测试平台电连接，用于控制、测量和显示自动测试平台的测试过程。

10.根据权利要求9所述的超声波探头晶元测量装置，其特征在于，所述测试头通过测试线连接测量仪，其中通过射频切换开关控制测试头信号的输入和切换。