[发明专利]工件载具的传送装置在审

专利信息
申请号: 202111665538.0 申请日: 2021-12-31
公开(公告)号: CN114351091A 公开(公告)日: 2022-04-15
发明(设计)人: 张继凡;何涛;朱磊;周健 申请(专利权)人: 安徽立光电子材料股份有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22;C23C14/50;C23C14/54
代理公司: 杭州合信专利代理事务所(普通合伙) 33337 代理人: 沈自军
地址: 239200 安徽省*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 工件 传送 装置
【权利要求书】:

1.工件载具的传送装置,其特征在于,包括:

外框,所述外框的内部围拢形成工作空间;

内框,位于所述工作空间内;

传送轮组件,设置在所述内框中用以传送工件载具;

升降驱动组件,安装于所述外框、且作用至所述内框的底部;

第一导向机构,作用于所述外框和所述内框之间、以引导所述内框的升降。

2.根据权利要求1所述工件载具的传送装置,其特征在于,所述外框水平方向的一侧具有供工件载具传输的进出口。

3.根据权利要求1所述工件载具的传送装置,其特征在于,所述内框的顶部设有与工件载具顶部相配合的第二导向机构。

4.根据权利要求1所述工件载具的传送装置,其特征在于,所述第一导向机构包括:

导靴,固定于所述外框;

导轨,固定于所述内框、且与所述导靴相配合。

5.根据权利要求4所述工件载具的传送装置,其特征在于,所述内框包括相对布置的底盘和顶壁,以及连接在所述底盘和顶壁之间的多根立柱,所述导轨固定于各所述立柱。

6.根据权利要求1所述工件载具的传送装置,其特征在于,所述升降驱动组件包括:

第一驱动电机,安装于所述外框且处在所述内框的下方;

传动丝杆,立置安装于所述外框且与所述驱动电机联动,所述传动丝杆向上延伸穿过所述内框的底盘;

固定于所述底盘、且与所述传动丝杆相配合的螺母件。

7.根据权利要求6所述工件载具的传送装置,其特征在于,所述传动丝杆为并排布置的两根,两根传动丝杆的顶端之间通过加强横杆相连。

8.根据权利要求7所述工件载具的传送装置,其特征在于,所述第一驱动电机的输出轴分别与两根平置的传动轴联动,每根传动轴与对应的传动丝杆底端联动。

9.根据权利要求8所述工件载具的传送装置,其特征在于,所述传送轮组件包括:

第二驱动电机,安装于所述内框;

两排传送轮,转动安装于所述内框;

同步件,传动连接于所述第二驱动电机和各传送轮之间。

10.根据权利要求9所述工件载具的传送装置,其特征在于,所述传动丝杆穿过所述底盘的位置处在所述两排传送轮之间。

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