[发明专利]一种用于铜面处理的碱性微蚀液及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202111668851.X 申请日: 2021-12-30
公开(公告)号: CN114351146B 公开(公告)日: 2022-10-04
发明(设计)人: 郭文杰 申请(专利权)人: 华南理工大学;广州现代产业技术研究院
主分类号: C23F1/34 分类号: C23F1/34;C23F1/44
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 林奕聪
地址: 511458 广东省广州市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 处理 碱性 微蚀液 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种用于铜面处理的碱性微蚀液的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)在连续搅拌条件下,向水中依次加入氯化铁、硫酸铜、氨基磺酸、酒石酸钠钾、尿素、甲酰胺、三乙胺,混合均匀,得到混合溶液;

(2)将步骤(1)得到的混合溶液用乙醇胺调节pH值到9.0-10.0,最后用水定容,即得碱性微蚀液;每升碱性微蚀液中,加入氯化铁的质量为58~62g,加入硫酸铜的质量为47~55g,加入氨基磺酸的质量为8~12g,加入酒石酸钠钾的质量为4~6g,加入尿素的质量为2~3g,加入甲酰胺的质量为1~3g,加入三乙胺的质量为10~20g。

2.根据权利要求1所述一种用于铜面处理的碱性微蚀液的制备方法,其特征在于,步骤(2)中每升碱性微蚀液中加入乙醇胺的质量为150~250g;步骤(2)所述碱性微蚀液中的溶剂为水。

3.权利要求1-2任一项所述的制备方法制备得到的一种用于铜面处理的碱性微蚀液。

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