[发明专利]一种新型底部抗反射涂层组合物及其制备方法

权利要求书

1.一种新型底部抗反射涂层组合物，其特征在于，包括下述质量百分比的原料：主体树脂0.5％-15％、含芳环结构的交联剂A 5％-15％、交联剂B 0.1％-5％、热敏酸0.1％-1％、余量为溶剂。

2.如权利要求1所述的一种新型底部抗反射涂层组合物，其特征在于，所述主体树脂是取代丙烯酸脂聚合物、取代甲基丙烯酸脂聚合物或取代苯乙烯聚合物的任意一种或任意混合物。

3.如权利要求1所述的一种新型底部抗反射涂层组合物，其特征在于，所述主体树脂的分子量为4000-100000。

4.如权利要求1所述的一种新型底部抗反射涂层组合物，其特征在于，所述主体树脂包含吸光官能团、交联官能团和辅助官能团，结构式为：

5.如权利要求1和权利要求4所述的一种新型底部抗反射涂层组合物，其特征在于，所述主体树脂的吸光官能团、交联官能团和辅助官能团的数量比是10％-50％：5％-40％：10％-85％。

6.如权利要求1、权利要求4和权利要求5所述的一种新型底部抗反射涂层组合物，其特征在于，所述吸光官能团是含有苯环的官能团，具体有苯基、甲苯基、二甲苯基、氯苯基、氟苯基、联苯基等其它苯环数在20以内的取代芳基衍生物；所述交联官能团是含羟基的官能团，具体有甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、环己基、降冰片、金刚烷、立方烷等碳原子数在20以内的单羟基或多羟基烷基衍生物；所述辅助官能团是含酯基或/和刚性结构的官能团，具体有甲醇、乙醇、丙醇、丙二醇、环己醇、降冰片醇、金刚烷醇等碳原子数在20以内的酯类或/和刚性烷基衍生物。

7.如权利要求1所述的一种新型底部抗反射涂层组合物，其特征在于，所述交联剂B是三聚氰胺树脂、氨基树脂、甘脲化合物和二环氧化物中的任意一种或多种；优选地，所述交联剂B是四甲氧甲基甘脲。

8.如权利要求1所述的一种新型底部抗反射涂层组合物，其特征在于，所述热敏酸为苯磺酸及其衍生物，优选地，所述苯磺酸及其衍生物选自对甲苯磺酸、吡啶对甲苯磺酸、2、4、4、6-四溴环己二烯酮、苯偶因甲苯二烯酮、取代硝基苄基甲苯磺酸盐、烷基对甲苯苯磺酸铵盐中的任意一种或多种。

9.如权利要求1所述的一种新型底部抗反射涂层组合物，其特征在于，所述溶剂选自丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇单醋酸醚、丙二醇单乙醚、丙二醇甲醚醋酸酯、二缩乙二醇甲醚、二缩乙二醇乙醚、醋酸丁酯、醋酸新戊酯、乳酸乙酯、甲基乙基酮、环己酮、甲基异丁基酮、N-甲基吡咯烷酮、N、N-二甲基甲酰胺、N、N-二甲基乙酰胺和二甲亚砜中的任意一种或多种。

10.一种新型底部抗反射涂层组合物的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：

S1、将主体树脂、含芳环结构的交联剂A、交联剂B、热敏酸、溶剂混合，震荡溶解；

S2、过滤，得到底部抗反射涂层组合物。